[发明专利]圆筒光罩

权利要求书

1.一种圆筒光罩，其沿着圆筒状的外周面保持电子器件用的光罩图案，安装在规定的曝光装置上，且能够绕着中心线旋转，其特征在于，

具有所述外周面在所述中心线的方向上的长度为La、所述外周面的直径为φ的圆筒基材，

当将保持在所述圆筒基材的外周面上的所述光罩图案在所述中心线的方向上的最大长度设为L时，在L≤La的范围内，所述直径φ与所述长度L的比率L/φ设定为1.3≤L/φ≤3.8的范围。

2.根据权利要求1所述的圆筒光罩，其特征在于，

所述圆筒基材由金属制圆筒体构成，

所述光罩图案构成为在所述圆筒基材的外周面上直接形成针对来自所述曝光装置的照明光的高反射部和低反射部而成的反射型光罩图案。

3.根据权利要求1所述的圆筒光罩，其特征在于，

所述光罩图案构成为在薄板上形成针对来自所述曝光装置的照明光的高反射部和低反射部而成的反射型薄片光罩，

所述反射型薄片光罩沿着所述圆筒基材的外周面而被保持为圆筒状，

所述直径φ成为形成有所述反射型薄片光罩的图案的光罩面的直径。

4.根据权利要求3所述的圆筒光罩，其特征在于，

所述圆筒基材能够装拆地保持所述反射型薄片光罩。

5.根据权利要求1所述的圆筒光罩，其特征在于，

所述圆筒基材由圆环状的透明筒构成，

所述光罩图案构成为通过遮光层在所述透明筒的外周面上直接形成图案而成的透过型光罩图案，其中所述遮光层是对来自所述曝光装置的照明光进行遮光的层。

6.根据权利要求1所述的圆筒光罩，其特征在于，

所述圆筒基材由圆环状的透明筒构成，

所述光罩图案构成为通过针对来自所述曝光装置的照明光的遮光层而形成图案的、由薄玻璃板构成的透过型薄片光罩，

所述透过型薄片光罩沿着所述圆筒基材的外周面被保持为圆筒状，

所述直径φ成为形成有所述透过型薄片光罩的图案的光罩面的直径。

7.根据权利要求6所述的圆筒光罩，其特征在于，

所述圆筒基材能够装拆地保持所述透过型光罩图案。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的圆筒光罩，其特征在于，

所述直径φ和所述长度L的关系被设定为进一步满足L/φ≤2.6。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的圆筒光罩，其特征在于，

所述电子器件的光罩图案包括以下图案中的任一个：显示器件的显示区域内的各像素的图案、使各像素驱动的薄膜半导体用电极或布线的图案、配置在显示区域的周边的周边电路区域的图案、以及彩色滤光片及黑色矩阵的图案。

10.根据权利要求9所述的圆筒光罩，其特征在于，

所述显示器件是液晶显示器或有机EL显示器。

11.根据权利要求10所述的圆筒光罩，其特征在于，

由所述显示区域形成的画面尺寸是纵向尺寸和横向尺寸不同的长方形。

12.根据权利要求11所述的圆筒光罩，其特征在于，

所述画面尺寸的纵横比为16:9或2：1。

13.根据权利要求11或12所述的圆筒光罩，其特征在于，

被所述圆筒基材的外周面保持的所述光罩图案具有一个或多个所述显示器件用的图案，所述显示器件用的图案以所述显示区域的长边沿着所述圆筒基材的圆周方向延伸的方式配置，且以所述显示区域的短边沿着所述中心线的方向延伸的方式配置。

14.根据权利要求11或12所述的圆筒光罩，其特征在于，

被所述圆筒基材的外周面保持的所述光罩图案在所述圆筒基材的圆周方向上具有多个所述显示器件用的图案，所述显示器件用的图案以所述显示区域的短边沿着所述圆筒基材的圆周方向延伸的方式配置，且以所述显示区域的长边沿着所述中心线的方向延伸的方式配置。