[发明专利]一种工艺设计工具包的测试方法及装置

权利要求书

1.一种工艺设计工具包的测试方法，其特征在于，包括：

通过正则匹配的方式，根据预设源信息，比对验证工艺设计工具包的基本信息；

分别生成参数化单元和物理设计规则的测试图案库，并通过对测试图案库的批量测试，分别实现参数化单元和物理设计规则的验证；所述物理设计规则包括宽度、间距、包围、叠加、超出、固定值和并行间距中的至少一个；

基于工艺设计工具包，进行设计流程验证；

所述生成物理设计规则的测试图案库，并通过对测试图案库的批量测试实现物理设计规则的验证，包括：

分别以物理设计规则的设定值、大于设定值和小于设定值，生成物理设计规则的三种测试图案，以获得物理设计规则的测试图案库；采用对称的方式确定物理设计规则的参数值，以物理设计规则的设定值为对称轴，以工艺最小格点值为对称距离，大于设定值的值为设定值与工艺最小格点值之和，小于设定值的值为设定值与工艺最小格点值之差得到设定值、大于设定值和小于设定值这3个物理设计规则的参数值；

对物理设计规则的测试图案库批量测试；

所述基于工艺设计工具包，进行设计流程验证，包括：

将基准电路库进行参数化单元的映射；

基于映射后的基准电路库和工艺设计工具包，完成电路设计的全流程；

根据全流程中的各输出结果，获得PDK组件完整性、PDK与电路设计中的设计工具的衔接性以及PDK中器件的电特性的分析结果，所述PDK中器件的电特性用于判断所述PDK中器件是否与常规器件的特性曲线相符。

2.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于，所述预设源信息包括制造工艺信息、SPICE器件模型和PDK设计规范；根据预设信息，比对验证工艺设计工具包的基本信息，包括：

根据制造工艺信息，比对验证器件名称及端点、器件视图和版图图层的基本信息；

根据SPICE器件模型，比对验证器件仿真参数和网表的基本信息；

根据PDK设计规范，对比验证器件的CDF参数和器件的回调函数的基本信息。

3.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于，生成参数化单元的测试图案库，并通过对测试图案库的批量测试实现参数化单元的验证，包括：

将参数化单元中的各CDF参数进行参数实例化，使得各CDF参数具有实例化的参数值；

根据各CDF参数的实例化的参数值，生成具有不同实例化的参数值组合的参数化单元的测试图案库，参数化单元的测试图案库中的测试图案为符号图和/或版图；

对参数化单元的测试图案库进行批量测试。

4.根据权利要求3所述的测试方法，其特征在于，根据各CDF参数的实例化的参数值，生成具有不同实例化的参数值组合的参数化单元的测试图案库，包括：

将各CDF参数按照实例化的参数值进行排列组合，生成具有不同实例化的参数值组合的参数化单元的测试图案库。