[发明专利]一种用于微波等离子体炬发射光谱的固体进样分析系统

权利要求书

1.一种用于微波等离子体炬发射光谱的固体进样分析系统，其特征在于，包括：

激光器，用于输出预定波长的激光；

光学扩束装置，用于将激光扩散处理；

光路调节装置，用于将扩散处理后的激光光束按预定角度反射和/或将可见光透射处理；

光学聚焦装置，用于将激光光束聚焦处理后传送到样品室；

样品室，用于放置样品，并接收聚焦后的激光对样品进行烧蚀处理；

成像处理装置，用于将所述光路调节装置透射处理后的可见光成像处理。

2.根据权利要求1所述的用于微波等离子体炬发射光谱的固体进样分析系统，其特征在于，所述激光器为Nd:YAG灯泵浦激光器；所述激光器输出的激光波长为213nm。

3.根据权利要求1所述的利用微波等离子体炬发射光谱的固体进样分析系统，其特征在于，所述光学扩束装置包括：

凹面镜，用于将激光扩散处理；

凸透镜，设于所述凹面镜之后，用于将扩散的激光转换为平行激光束。

4.根据权利要求1所述的用于微波等离子体炬发射光谱的固体进样分析系统，其特征在于，所述光路调节装置包括：

光阑，用于选择性的提供不同孔径大小的透光孔；所述光阑连有驱动装置；

二向色散反射镜，其向所述光阑一侧倾斜45°放置。

5.根据权利要求1所述的用于微波等离子体炬发射光谱的固体进样分析系统，其特征在于，所述光学聚焦装置包括目镜和设于其后的物镜；所述物镜连有距离调节装置。

6.根据权利要求1所述的用于微波等离子体炬发射光谱的固体进样分析系统，其特征在于，所述样品室外部连有载气回路，所述载气回路两端设有第一阀门和第二阀门；所述样品室顶部设有石英窗口玻璃、内部设有三维步进电机样品台。

7.根据权利要求1所述的用于微波等离子体炬发射光谱的固体进样分析系统，其特征在于，所述成像处理装置包括：

可见光反射镜，用于将可见光按预定角度反射；

可见光聚焦透镜，用于将反射后的可见光聚焦；

CCD相机，用于将聚焦后的可见光进行成像处理。

8.根据权利要求6所述的用于微波等离子体炬发射光谱的固体进样分析系统，其特征在于，所述载气为N₂。