[发明专利]一种掩膜板及蒸镀设备

说明书

本发明涉及成膜技术领域，公开了一种掩膜板及蒸镀设备。所述掩膜板包括图形区域，所述图形区域设置有镂空图形，在掩膜板的除镂空图形之外的区域设置膜厚测试片，在蒸镀制程中，膜厚测试片上会沉积蒸镀材料，通过检测所述膜厚测试片上薄膜的膜厚，可以获取掩膜板上薄膜的膜厚，从而当薄膜的膜厚达到一定的厚度时，能够及时更换掩膜板，避免出现薄膜剥离污染设备的问题。

技术领域

本发明涉及成膜技术领域，特别是涉及一种掩膜板及蒸镀设备。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，简称“OLED”)，具有全固态结构、高亮度、全视角、响应速度快、工作温度范围宽、可实现柔性显示等一系列优点。尤其在柔性显示领域，其可以被卷曲、折叠，因此在便携产品或穿戴产品领域有着极为宽广的前景。

OLED器件的制作方法有真空蒸镀(Vacuum Evaporation)、激光热转印(LaserInduced Thermal Imaging,LITI)、喷墨打印(Ink Jet Print)等，目前真空蒸镀技术比较成熟，是各大厂商使用的主流技术。

OLED器件的蒸镀分为有机材料蒸镀和金属材料蒸镀，金属材料一般使用Mg、Ag、Al等。金属蒸镀的掩膜版包括图形区域和位于图形区域的周边区域，金属材料以掩膜板为阻挡，通过图形区域的镂空图形蒸镀到OLED器件上。蒸镀工序完成后，会将掩膜版搬送回至掩膜版存储腔室。

在蒸镀过程中，掩膜版上也会沉积金属材料，当掩膜板上的金属膜膜厚达到一定厚度时，就会发生剥离，导致产生大量颗粒，污染真空蒸镀设备。

发明内容

本发明提供一种掩膜板及蒸镀设备，用以解决在蒸镀过程中掩膜板上沉积的薄膜膜厚达到一定厚度时，会发生剥离，污染蒸镀设备的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种掩膜板，包括板体，所述板体包括图形区域和位于所述图形区域外围的周边区域，所述图形区域设置有镂空图形，其特征在于，所述掩膜板还包括膜厚测试片，所述膜厚测试片对应所述板体的除所述镂空图形之外的区域设置。

如上所述的掩膜板，其中，所述膜厚测试片设置在所述周边区域。

如上所述的掩膜板，其中，所述掩膜板包括至少两个膜厚测试片，所述至少两个膜厚测试片均匀分布在所述图形区域的周边。

本发明实施例中还提供一种蒸镀设备，包括用于放置如上所述的掩膜板的存储腔，其中，还包括：

膜厚检测单元，用于测量所述掩膜板的膜厚测试片上的第一薄膜的膜厚。

如上所述的蒸镀设备，其中，所述蒸镀设备还包括：

报警单元；

控制单元，与所述膜厚检测单元和报警单元连接，当第一薄膜的膜厚达到预设厚度时，所述控制单元控制所述报警单元发出警报。

如上所述的蒸镀设备，其中，所述存储腔内设置有承载部，所述掩膜板固定放置在所述承载部上；

所述膜厚检测单元固定在所述承载部上，并与所述掩膜板的膜厚测试片的位置对应。

如上所述的蒸镀设备，其中，所述膜厚测试片上的第一薄膜的材料为金属，所述膜厚测试片的材料为绝缘材料；

所述膜厚检测单元包括：

固定在所述承载部上的第一驱动机构；

固定在所述第一驱动机构的输出端的方块电阻测试仪，所述方块电阻测试仪包括计算单元、本体和设置在所述本体上的至少一个探针，所述第一驱动机构用于驱动所述探针插入所述第一薄膜中；所述计算单元与所述探针连接，当所述探针插入所述第一薄膜中时，所述计算单元计算所述第一薄膜的方块电阻；