[发明专利]用于生产镀膜玻璃的镀膜段及其用途

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于生产镀膜玻璃的镀膜段及其用途，特别适用于生产低辐射镀膜玻璃，属于机械领域。

背景技术

低辐射镀膜玻璃，(Low-E玻璃)即采用物理或化学方法在玻璃表面上镀上含有一层或两层甚至多层膜系的金属薄膜或金属氧化物薄膜，来降低能量吸收或控制室内外能量交换，保障生活、工作的舒适性，并以此达到环保节能的目的。

随着节能减排政策的倡导，人们对低辐射镀膜玻璃提出更高的要求。普通用于生产镀膜玻璃的镀膜段生产的产品已经不能满足人们提出的更高要求。大面积磁控溅射镀膜生产线包含许多组成部分，其中核心区域是镀膜高真空区的工艺布置，即镀膜段。

现有技术中存在镀膜单元安装复杂，灵活性差，隔离系数低，真空环境差、冷却效率低等问题，例如，每个隔离腔室中所要安装的元件都是固定的，无法随意的拆分，当整个设备需要有所变化时，则无形中给用户增加不必要的人力、物力和时间等成本，同时隔离系数低、真空环境差、冷却效果低会严重影响制备的膜层质量。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种用于生产镀膜玻璃的镀膜段及其用途，用于解决现有技术中用于生产镀膜玻璃的镀膜段安装复杂，灵活性差，隔离系数低，真空环境差、冷却效率低等问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种用于生产镀膜玻璃的镀膜段，所述镀膜段至少包括：若干隔离腔室、传输单元、气体隔离单元，阴极靶材、抽真空单元、以及冷却单元；每个所述隔离腔室依次连接，每个所述隔离腔室的顶部设置可打开的盖板，每个所述盖板大小和形状一致；每个所述隔离腔室的内部设置气体隔离单元或者阴极靶材；所述传输单元设置在隔离腔室内的下部且贯通所有隔离腔室；每个装有所述气体隔离单元的隔离腔室上的盖板上设置抽真空装置；安装有所述阴极靶材的隔离腔室内部还设置冷却单元。

优选地，相邻的两个隔离腔室之间设置抽气口。

优选地，每个所述隔离腔室都是规则的6面体且大小一致。

优选地，每个所述盖板和所述隔离腔室之间设有密封圈。

优选地，所述气体隔离单元包括横向设置的横向隔板和纵向设置的纵向隔板，所述横向隔板位于传输单元的上方，所述纵向隔板上端达到隔离腔室的顶部，下端达到横向隔板。

优选地，安装有所述阴极靶材的隔离腔室内部还设置冷却单元，所述冷却单元包括设置在第二隔离腔室内下方的冷却水管道，所述冷却水管道与外部水源连通。

优选地，所述传输单元采用传输辊道，所述传输辊道包括若干辊子。

优选地，所述阴极靶材选自SiAl靶材、TiO靶材、SnAl靶材、ZnAl靶材、ZnSn靶材、 AZO靶材、Ni靶材、Cr靶材、NiCr靶材、Ag靶材中的任意一种或几种

优选地，所述阴极靶材按照SiAl靶材、ZnAl靶材、NiCr靶材、Ag靶材、NiCr靶材、 SnZn靶材、ZnAl靶材、NiCr靶材、Ag靶材、NiCr靶材、SnZn靶材、SiAl靶材顺序分别安装在隔离腔室内。

以上顺序是在玻璃上镀膜的生产工艺顺序，在玻璃上依次采用上述靶材镀膜。所述分别安装，是指在每个隔离腔室中安装一个阴极靶材。

优选地，所述隔离腔室共40个，并依次连接，其中第2个隔离腔室和第3个隔离腔室中设置SiAl靶材、第7个隔离腔室和第8个隔离腔室安装ZnAl靶材、第11个隔离腔室安装 NiCr靶材、第13个隔离腔室安装Ag靶材、第15个隔离腔室安装NiCr靶材、第18个隔离腔室和第19个隔离腔室安装SnZn靶材、第22个隔离腔室和第23个隔离腔室安装ZnAl靶材、第26个隔离腔室安装NiCr靶材、第28个隔离腔室安装Ag靶材、第30个隔离腔室安装NiCr靶材、第33个隔离腔室和第34个隔离腔室安装SnZn靶材、第38个隔离腔室和第 39个隔离腔室安装SiAl靶材，其余的隔离腔室中安装气体隔离单元。

本发明的另一方面提供了上述的用于生产镀膜玻璃的镀膜段用于生产镀膜玻璃的用途。

如上所述，本发明的用于生产镀膜玻璃的镀膜段及其用途，具有以下有益效果：

由于每个隔离腔室采用标准化设计，大小一致，因此，在每个盖板以及内部的工作单元都适用于其他隔离腔室；因此其中的气体隔离单元也是适用于任意一个隔离腔室的。当工艺需要调整时，可以随意调节其中所安装的元件的位置。合理的工艺布置可以满足：多种单、双银产品的生产；生产不同的产品，靶材位置需要变动时，可以简便、及时的变动；未来产品更新换代，需预留一定的工艺升级空间。

附图说明