[发明专利]一种太阳能电池及其制作方法有效
申请号: | 201710532708.5 | 申请日: | 2017-07-03 |
公开(公告)号: | CN107331715B | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 王利忠;邸云萍;周天民 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/0248 | 分类号: | H01L31/0248;H01L31/0352;H01L31/18 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 林桐苒;李丹 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 及其 制作方法 | ||
1.一种太阳能电池制作方法,其特征在于,包括:
形成第一电极;
在所述第一电极上形成包括掺杂的P型光响应型半导体和N型光响应型半导体的纳米线,包括:在所述第一电极上生长所述P型光响应型半导体的纳米线,在所述纳米线周围通过高温渗透方式掺杂所述N型光响应型半导体;或者,在所述第一电极上生长所述N型光响应型半导体的纳米线,在所述纳米线周围通过高温渗透方式掺杂所述P型光响应型半导体;其中,高温渗透是在500℃~700℃高温下渗透1小时~3小时;所述N型光响应型半导体为氮化镓,所述P型光响应型半导体为氧化锌;所述高温渗透方式包括:将氮化镓纳米线放于氧化锌粉末氛围中,或者将氧化锌纳米线放于氮化镓粉末氛围中;
在所述纳米线上方形成第二电极。
2.如权利要求1所述的太阳能电池制作方法,其特征在于,所述在所述第一电极上生长纳米线通过如下方式之一:
分子束外延、化学气相沉积、原子层沉积、水热法。
3.如权利要求1或2所述的太阳能电池制作方法,其特征在于,所述第一电极为背电极,所述第二电极为前电极;或者,所述第一电极为前电极,所述第二电极为背电极。
4.一种采用如权利要求1至3任一所述的太阳能电池制作方法制作的太阳能电池,其特征在于,包括:第一电极、第二电极和位于所述第一电极和第二电极之间的包括掺杂的P型光响应型半导体和N型光响应型半导体的纳米线;所述纳米线为:P型光响应性半导体周围通过高温渗透方式掺杂N型光响应型半导体,或者,N型光响应性半导体周围通过高温渗透方式掺杂P型光响应型半导体;其中,高温渗透是在500℃~700℃高温下渗透1小时~3小时;所述N型光响应型半导体为氮化镓,所述P型光响应型半导体为氧化锌;所述高温渗透方式包括:将氮化镓纳米线放于氧化锌粉末氛围中,或者将氧化锌纳米线放于氮化镓粉末氛围中。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的