[发明专利]一种振动复合柔性磨抛装置

权利要求书

1.一种振动复合柔性磨抛装置，其特征在于，所述磨抛装置包括连接轴、背板、压电陶瓷、研磨盘以及研磨垫，所述背板固定在所述连接轴的一端，所述研磨盘固定在所述背板上；所述背板开设有容腔，所述背板的边缘朝向所述研磨盘凸起环形的固定部，所述研磨盘包括环形肩以及位于环形肩中部的凸台，所述环形肩与所述固定部固定连接，所述凸台与所述环形肩之间通过柔性铰链连接，所述容腔内对应所述凸台的位置设有所述压电陶瓷，所述凸台朝向所述压电陶瓷开设有半球槽，所述压电陶瓷包括压电模块与半球体连接部，所述半球体连接部与所述半球槽配合；所述研磨垫贴设在所述凸台上；其中，所述研磨盘一体制成，所述研磨盘相对的两面上分别开设有相对的设置的环形凹槽，所述环形凹槽将所述环形肩与所述凸台分隔开来，所述环形凹槽处的厚度比所述环形肩与所述凸台的厚度薄，所述环形凹槽处形成柔性铰链。

2.根据权利要求1所述的振动复合柔性磨抛装置，其特征在于，所述研磨盘为圆形盘。

3.根据权利要求2所述的振动复合柔性磨抛装置，其特征在于，所述背板为圆柱形，所述背板、所述研磨盘与所述连接轴同轴设置。

4.根据权利要求3所述的振动复合柔性磨抛装置，其特征在于，所述压电陶瓷与所述研磨盘同轴设置，所述压电陶瓷与所述研磨盘连接并预紧。

5.根据权利要求4所述的振动复合柔性磨抛装置，其特征在于，所述研磨垫的研磨面上开设有呈螺旋线分布的细沟槽。

6.根据权利要求5所述的振动复合柔性磨抛装置，其特征在于，所述细沟槽的宽度从中心处向外沿螺旋线的轨迹逐渐增大。

7.根据权利要求6所述的振动复合柔性磨抛装置，其特征在于，所述螺旋线为阿基米德螺线。

8.根据权利要求5所述的振动复合柔性磨抛装置，其特征在于，所述细沟槽的横截面可为圆弧、矩形或梯形。

9.根据权利要求1所述的振动复合柔性磨抛装置，其特征在于，所述磨抛装置还包括滑环，所述滑环套设在所述连接轴上，所述连接轴上开设有第一通线孔，所述背板上开设有第二通线孔，所述连接轴内沿轴线开设有通孔，所述通孔与所述第一通线孔连通。