[发明专利]使用叠层成像术对样本成像的方法

权利要求书

1.一种使用叠层成像术对样本成像的方法，包括：

将带电粒子束从源引导通过照明器以便穿过样本并着陆在检测器上，

利用检测器检测从样本放射的辐射通量，

基于使用检测器的输出连同应用数学重建技术来计算离开样本的带电粒子波前的至少一个性质，其中所述至少一个性质包括波前的相位；并且其中应用所述数学重建技术包括直接重建所述波前的相位来确定所述波前的重建相位。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述波前的重建相位为连续函数。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述数学重建技术包括以下迭代方案：

其中：

▪ 表示对迭代索引和位置处的相位的估计；

▪ 下标和表示迭代索引；

▪ 参数控制方案的收敛；以及

▪ 为修正项。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，在无需相位解缠的情况下使用所述重建相位来编译所述样本的图像。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述重建相位经受低通滤波操作。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述数学重建技术不涉及间接地从振幅和相位的重建的函数来导出所述相位。

7.根据权利要求3所述的方法，其中，所述迭代方案是基于以下各项中的一个或多个：Rodenburg方法、PHeBIE方法和Thibault方法。

8.根据权利要求3所述的方法，其中，在无需相位解缠的情况下使用所述重建相位来编译所述样本的图像。

9.根据权利要求3所述的方法，其中，所述数学重建技术不涉及间接地从振幅和相位的重建的函数来导出所述相位。

10.一种用于使用叠层成像术对样本成像的装置，包括：

- 样本保持器，用于保持所述样本；

- 源，用于产生带电粒子束；

- 照明器，用于引导所述带电粒子束以便照射所述样本；

- 检测器，用于检测响应于所述照射从该样本放射的辐射通量；

- 控制器，其被编程以分析来自所述检测器的输出并在数学重建技术中使用所述输出以便计算离开该样本的波前的至少一个性质，其中波前的所述至少一个性质包括波前的相位，并且其中所述重建技术直接重建所述相位。

11.根据权利要求10所述的装置，其中，所述数学重建技术不涉及间接地从振幅和相位的重建的函数来导出所述相位。

12.根据权利要求10所述的装置，其中，所述数学重建技术包括以下迭代方案：

其中：

▪ 表示对迭代索引和位置处的相位的估计；

▪ 下标和表示迭代索引；

▪ 参数控制方案的收敛；以及

▪ 为修正项。

13.根据权利要求12所述的装置，其中，所述迭代方案是基于以下各项中的一个或多个：Rodenburg方法、PHeBIE方法和Thibault方法。

14.根据权利要求10所述的装置，其中，所述装置包括带电粒子显微镜。

15.一种用于存储计算机程序产品的非临时性计算机可读存储介质，该计算机程序产品包括指令，当所述指令被执行时指令一个或多个处理器以实行方法，所述方法包括：

基于使用针对从样本放射的辐射通量的检测器的输出连同应用数学重建技术，在利用带电离子束照射之后，计算离开样本的带电粒子波前的至少一个性质，其中所述至少一个性质包括波前的相位，并且其中应用所述数学重建技术包括直接重建所述波前的相位来确定所述波前的重建相位。