[发明专利]基于三维石墨烯的柔性透明复合电极及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201710522636.6 申请日: 2017-06-30
公开(公告)号: CN107293348A 公开(公告)日: 2017-10-24
发明(设计)人: 王东;钟瑞霞;郝跃;张进成;李昂;程海青;冯欣;宁静 申请(专利权)人: 西安电子科技大学
主分类号: H01B1/04 分类号: H01B1/04;H01B13/00
代理公司: 陕西电子工业专利中心61205 代理人: 王品华,朱红星
地址: 710071 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 基于 三维 石墨 柔性 透明 复合 电极 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种基于三维石墨烯的柔性透明复合电极,其特征在于:包括柔性透明基板(1)和三维石墨烯(2),且三维石墨烯(2)覆盖在柔性透明基板(1)的表面,形成复合电极结构。

2.根据权利要求1所述的电极,其特征在于,所述三维石墨烯的膜厚为100nm~300nm。

3.根据权利要求1所述的电极,其特征在于,柔性透明基板(1)采用聚对苯二甲酸乙二酯PET或聚酰亚胺PI或聚碳酸酯PC等柔性透明有机聚合物。

4.一种基于三维石墨烯的柔性透明复合电极的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:

1)采用化学气相沉积法,在泡沫金属上生长三维石墨烯:

在CVD系统管式炉的恒温区中放置洁净的泡沫金属衬底,再在气体碳源和保护气的环境中生长三维石墨烯,形成三维石墨烯/金属复合物,其中符号“/”表示前者在后者上;

2)将三维石墨烯转移至目标基底上:

2a)在三维石墨烯/金属复合物表面分两个阶段旋涂聚甲基丙烯酸甲酯PMMA胶,即先以900rpm低速旋转5~20s均匀涂胶,再以3500rpm高速旋转20~100s旋均匀涂胶;

2b)将涂有PMMA胶的三维石墨烯/金属复合物置于加热板上以80℃恒温加热20~60分钟,形成PMMA/三维石墨烯/金属复合物;

2c)将PMMA/三维石墨烯/金属复合物浸泡在浓度为0.28M过硫酸铵溶液中5h~7h,除去金属衬底,形成PMMA/三维石墨烯复合物;

2d)将PMMA/三维石墨烯复合物放入去离子水中浸泡20min稀释干净,再用柔性透明目标基板将PMMA/三维石墨烯复合物捞起,在50℃温度下烘干,形成PMMA/三维石墨烯/目标基板复合物;

2e)将PMMA/三维石墨烯/目标基板复合物浸泡在丙酮中12小时以上,除去PMMA胶,再将其捞起放入酒精中浸泡20min去除残余丙酮杂质,最后在加热板上以45℃~60℃温度烘干,形成三维石墨烯/目标基板复合物,完成基于三维石墨烯的柔性透明电极的制备。

5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于:步骤1)中在气体碳源和保护气的环境中生长三维石墨烯,工艺条件如下:

甲烷和氢气流量比为50sccm:10sccm,

生长温度为1010℃~1035℃,

生长时间为2.0h~3.5h。

6.根据权利要求4所述的方法,其特征在于:步骤2d)中的柔性透明目标基板采用聚对苯二甲酸乙二酯PET或聚酰亚胺PI或聚碳酸酯PC等柔性透明有机聚合物。

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