[发明专利]键合丝连铸炉

说明书

技术领域

本发明涉及设备，具体的说是涉及键合丝连铸炉。

背景技术

键合丝是封装的关键材料之一，它的功能是实现半导体芯片与引脚的电连接，起着芯片与外界的电流导入和导出的作用。

现有技术中，键合丝材料在真空炉熔化，再经模具锻压，由于模具的长度限制，键合丝只能制成固定长度，而且生产出的键合丝缺陷较多，其具体缺陷如下：

1.产品杂质较多，品质不稳定；

2.合金均匀性差；

3.产能低；

4.产品表面易氧化，结晶效果较差；

5.冷凝控制不好，合金排布不均匀；

6.在做超细键合丝过程时容易断裂；

因此，迫切需要一种键合丝连铸炉设备来解决上述问题。

发明内容

针对现有技术中的不足，本发明要解决的技术问题在于提供了键合丝连铸炉，该键合丝连铸炉能够在高真空状态下连铸，不间断铸造键合丝。

为解决上述技术问题，本发明通过以下方案来实现：键合丝连铸炉，该连铸炉包括集成线路的馈线柜、安装于馈线柜邻侧的安装架，该安装架设有两层，中间是安装板，所述连铸炉还包括：

金属熔料部，所述金属熔料部置于连铸炉的顶部，其设有加热装置、偏心搅拌装置，加热装置用于将金属熔化，偏心搅拌装置还连接有二次加料装置，金属熔化成液态后偏心搅拌装置持续搅拌，液态金属均匀后牵引棒向下运动；

冷却部，所述冷却部与金属熔料部下端连接，其包括冷却铜模及设置于冷却铜模内的水冷却循环管路，冷却铜模中部是导引孔，牵引棒沿该导引孔向下运动，冷却铜模和水冷却循环管路对液态金属冷却固化，形成键合丝；

真空部，所述真空部与所述金属熔料部、冷却部连通，在抽真空后，真空部、金属熔料部、冷却部连通的腔室全部是真空状态，所述真空部置于冷却部的下端、所述安装板的上表面，其外侧壁设有能够打开的观察窗、与真空泵连接的端口，所述真空部内腔底面中部设有导引装置，导引装置设有导引孔，牵引棒沿该导引孔向下，牵拉固化后的键合丝向下运动；

导向部，所述导向部安装于馈线柜的侧部，其包括若干导向机构，导向机构用于夹持引导牵引棒及对键合丝的牵引并导向。

进一步的，所述金属熔料部包括熔料炉、保温层、保温盖、石英玻璃套管、加热装置、偏心搅拌装置、二次加料装置；

所述熔料炉为石墨坩埚，其底面为倒锥面，锥面中心设有下料孔，牵引棒未工作前是将所述下料孔封堵，所述熔料炉置于所述保温层内，其上端盖有保温盖，所述保温层外套有石英玻璃套管，所述保温层和石英玻璃套管下端都置于所述冷却铜模上端，并在冷却铜模连接处设置密封胶垫，所述石英玻璃套管上端设有套管盖，并在其连接处设有密封胶垫，所述保温层、保温盖均为高温棉；

所述套管盖的盖体中部通孔处安装有偏心搅拌装置，所述偏心搅拌装置包括电机安装架、电机、驱动杆、搅拌器、双气缸，所述套管盖中部通孔边缘设置有带通孔的圆柱，圆柱上端设置电机安装架，所述电机安装架水平外延伸一段距离，在电机安装架的外侧端垂直于电机安装架，另一侧套于驱动杆上，并在驱动杆的杆体上设置有被动轮，驱动杆下端连接所述搅拌器，所述搅拌器包括连接杆和圆盘，所述圆盘下端设置有偏心轴杆，所述圆盘及偏心轴杆设于石墨坩埚内腔中；所述电机上设置有主动轮，主动轮通过皮带带动被动轮，所述驱动杆的下端与搅拌器上的连接杆连接，所述连接杆中部为通孔，该通孔与所述石墨坩埚内腔连通，所述驱动杆中部通孔，其通孔与连接杆中部通孔连通；

所述搅拌器还连接有双气缸，所述双气缸用于下降或上升搅拌器；

所述驱动杆上端连接所述二次加料装置，所述二次加料装置包括二次加料抽杆、加料料斗仓，所述加料料斗仓置于偏心搅拌装置的上端，其下端出料口与驱动杆上端口部连通，所述二次加料抽杆置于加料料斗仓的盖体中部，其杆体下端延伸至加料料斗仓的出料口，在不加料时将出料口封堵；

所述石英玻璃套管外侧、石墨坩埚的高度区域内设置有加热装置，所述加热装置包括非金属绕线套筒、电磁线圈，所述电磁线圈绕制于非金属绕线套筒外侧壁上。

进一步的，所述熔料炉底面设有凹圈，在该凹圈内设有温度传感器。

进一步的，所述石墨坩埚下端中部扩孔，其扩孔与保温层下部通孔、冷却铜模的中部通孔内设置有一根石墨棒，所述石墨棒中部设置有导引孔，所述导引孔内插有牵引棒。