[发明专利]含有1,10-啡啉化合物的铟电镀组合物和电镀铟的方法

权利要求书

1.一种水性铟电镀组合物，其不含合金化金属且包含一或多种铟离子源、含量为0.1ppm至8 ppm的一或多种1,10-啡啉化合物和柠檬酸、其盐或其混合物，其中，所述一或多种1,10-啡啉化合物选自1,10-啡啉、5,6-二甲基-1,10-啡啉、2,9-二甲基-1,10-啡啉、2,4,7,9-四甲基-1,10啡啉、2,9-二甲基-4,7-二苯基-1,10-啡啉、1,10-啡啉水合物、5-羟基-1,10-啡啉、1,10-啡啉-5,6-二醇、2,9-二苯基-1,10-啡啉、1,10-啡啉-5-胺、5,6-二氨基-1,10-啡啉、5-硝基-1,10-啡啉、5-硝基-1,10-啡啉-2,9-二甲醛、5-硝基-1,10-啡啉-2,9-二甲酸、5-氨基-1,10-啡啉-2,9-二甲酸、1,10-啡啉-5,6-二甲酸和1,10-啡啉-2,9-二甲酸。

2.根据权利要求1所述的水性铟电镀组合物，其中所述组合物进一步包含一或多种氯离子源，其中所述氯离子与所述铟离子的摩尔比为2:1或更大。

3.根据权利要求2所述的水性铟电镀组合物，其中氯离子与铟离子的摩尔比为2:1至7:1。

4.根据权利要求3所述的水性铟电镀组合物，其中氯离子与铟离子的摩尔比为4:1至6:1。

5.根据权利要求1所述的水性铟电镀组合物，其进一步包含选自以下的一或多种表面活性剂：胺表面活性剂、磺化萘酚聚醚、(烷基)酚乙氧基化物、磺化烷基烷氧基化物、烷二醇烷基醚和磺丙基化聚烷氧基化β-萘酚碱盐。

6.根据权利要求5所述的水性铟电镀组合物，其中所述(烷基)酚乙氧基化物包括乙氧基化萘酚。

7.根据权利要求1所述的水性铟电镀组合物，其进一步包含表卤代醇和一或多种含氮有机化合物的反应产物的一或多种共聚物。

8. 根据权利要求1所述的水性铟电镀组合物，其中铟离子浓度是2-70 g/L。

9. 根据权利要求1所述的水性铟电镀组合物，其中柠檬酸、其盐或其混合物的浓度是50-300 g/L。

10.根据权利要求1所述的水性铟电镀组合物，其中pH为1-4。

11.一种方法，其包含：

a）提供包含金属层的衬底；

b）使所述衬底与包含一或多种铟离子源、含量为0.1 ppm至15 ppm的一或多种1,10-啡啉化合物和柠檬酸、柠檬酸的盐或其混合物且不含合金化金属的水性铟电镀组合物接触，其中，所述一或多种1,10-啡啉化合物选自1,10-啡啉、5,6-二甲基-1,10-啡啉、2,9-二甲基-1,10-啡啉、2,4,7,9-四甲基-1,10啡啉、2,9-二甲基-4,7-二苯基-1,10-啡啉、1,10-啡啉水合物、5-羟基-1,10-啡啉、1,10-啡啉-5,6-二醇、2,9-二苯基-1,10-啡啉、1,10-啡啉-5-胺、5,6-二氨基-1,10-啡啉、5-硝基-1,10-啡啉、5-硝基-1,10-啡啉-2,9-二甲醛、5-硝基-1,10-啡啉-2,9-二甲酸、5-氨基-1,10-啡啉-2,9-二甲酸、1,10-啡啉-5,6-二甲酸和1,10-啡啉-2,9-二甲酸；以及

c）用所述铟电镀组合物在所述衬底的所述金属层上电镀铟金属层。

12.根据权利要求11所述的方法，其中所述铟电镀组合物进一步包含一或多种氯离子源，其中所述氯离子与所述铟离子的摩尔比为2:1或更大。

13.根据权利要求11所述的方法，其中所述金属层为镍、铜、金或锡。

14.根据权利要求13所述的方法，其中所述金属层为镍。