[发明专利]光学元件运动学支撑装置、投影物镜和光刻机

权利要求书

1.一种光学元件运动学支撑装置，其特征在于，包括：镜框，三组支撑脚，沿着所述镜框的圆周方向分别安装于所述镜框上，每组支撑脚约束两个自由度的位移；其中，所述光学元件固定于所述支撑脚内，所述支撑脚约束所述光学元件；所述支撑脚包括固定端、第一Y向柔性板簧、第二Y向柔性板簧、第一交叉柔性板簧、支撑点、第二交叉柔性板簧。

2.根据权利要求1所述的光学元件运动学支撑装置，其特征在于，所述的镜框为回转对称形结构，通过三组支撑脚接口分别固定连接所述三组支撑脚上。

3.根据权利要求1或2所述的光学元件运动学支撑装置，其特征在于，建立所述支撑脚的局部坐标系，将平行于投影物镜光轴的方向作为Z轴方向，将垂直于Z轴且平行于投影物镜径向的方向作为X轴方向，将垂直X轴和Z轴的方向作为Y轴方向，构成三维直角坐标系作为支撑脚的局部坐标系，其中，所述支撑点通过所述第二Y向柔性板簧连接所述第一交叉柔性板簧和所述第二交叉柔性板簧，所述支撑点可绕着Y轴的转动。

4.根据权利要求3所述的光学元件运动学支撑装置，其特征在于，所述第一交叉柔性板簧和所述第二交叉柔性板簧关于X轴对称，所述第一交叉柔性板簧和所述第二交叉柔性板簧的上端通过所述第一Y向柔性板簧连接固定端，其中，所述第一Y向柔性板簧和所述第二Y向柔性板簧组成复合铰链，所述支撑点可沿着X轴移动和绕着Z轴旋转。

5.根据权利要求1所述的光学元件运动学支撑装置，其特征在于，所述镜框以外圆柱面为安装基准面，镜框同轴安装固定到投影物镜的内壁，将光学元件运动学支撑装置整体固定安装在投影物镜的内壁，并利用光学元件运动学支撑装置约束光学元件在投影物镜光学系统中的面形。

6.根据权利要求1所述的光学元件运动学支撑装置，其特征在于，所述支撑脚为分体式结构。

7.根据权利要求1所述的光学元件运动学支撑装置，其特征在于，所述镜框下表面为安装基准面，所述镜框下表面还设有用于连接其他镜框的镜框间级联接口。

8.根据权利要求2所述的光学元件运动学支撑装置，其特征在于，

所述三组支撑脚接口中相邻两个之间的分布角度相等或不等。

9.一种投影物镜，其特征在于，所述投影物镜具有如权利要求1-8中任一项所述的光学元件运动学支撑装置。

10.一种光刻机，其特征在于，具有如权利要求9所述的投影物镜。