[发明专利]一种基于石墨烯共面行波电极吸收型光调制器有效
| 申请号： | 201710516770.5 | 申请日： | 2017-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN107153280B | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 陆荣国;叶胜威;刘天良;夏瑞杰;陈德军;张尚剑;刘永 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G02F1/03 | 分类号： | G02F1/03;G02F1/035 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 徐金琼;刘东 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石墨烯 带状线 电介质隔离层 光调制器 接地电极 条形光波导 行波电极 一端连接 吸收型 电介质 光电子技术领域 行波电极结构 第二电极 第一电极 共面波导 微波探针 依次设置 衬底层 填充层 电极 制备 带宽 兼容 | ||
1.一种基于石墨烯共面行波电极吸收型光调制器，包括衬底层(1)、条形光波导(2)、电介质填充层、电介质隔离层(6)、石墨烯带状线和电极，其特征在于：所述石墨烯带状线包括第一石墨烯带状线(4)、第二石墨烯带状线(7)和第三石墨烯带状线(8)，所述电介质隔离层(6)包括第一电介质隔离层(61)和第二电介质隔离层(62)，所述条形光波导(2)上方依次设置有第一电介质隔离层(61)、第一石墨烯带状线(4)、第二电介质隔离层(62)，所述第二电介质隔离层(62)上设置有第二石墨烯带状线(7)和第三石墨烯带状线(8)，所述第一石墨烯带状线(4)两端分别连接第一电极(51)和第二电极(52)，所述第二石墨烯带状线(7)一端连接第一接地电极(91)和第二接地电极(92)，所述第三石墨烯带状线(8)一端连接第三接地电极(93)和第四接地电极(94)；所述第一接地电极(91)、第二接地电极(92)与第一电极(51)形成GSG(Ground-Signal-Ground)结构，所述第三接地电极(93)、第四接地电极(94)与第二电极(52)形成GSG结构。
2.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯共面行波电极吸收型光调制器，其特征在于：所述第一石墨烯带状线(4)、第二石墨烯带状线(7)和第三石墨烯带状线(8)与电极的连接部分为光滑的带状曲线。
3.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯共面行波电极吸收型光调制器，其特征在于：所述电介质填充层包括第一电介质填充层(31)和第二电介质填充层(32)，所述衬底层(1)上设置条形光波导(2)，所述条形光波导(2)两侧分别设置第一电介质填充层(31)与第二电介质填充层(32)。
4.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯共面行波电极吸收型光调制器，其特征在于：所述衬底层(1)的材料为硅、氮化硅中的一种。
5.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯共面行波电极吸收型光调制器，其特征在于：所述第一电介质隔离层(61)、第二电介质隔离层(62)的材料为氮化硅、三氧化二铝、氮化硼中任意一种或其组合体，所述第一电介质隔离层(61)的厚度为5nm-20nm，所述第二电介质隔离层(62)的厚度为5nm-120nm。
6.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯共面行波电极吸收型光调制器，其特征在于：所述第一电介质填充层(31)和第二电介质填充层(32)的材料是硅氧化物、硅氮氧化物、硼氮化物或氢硅倍半氧烷中任意一种或其组合体。
7.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯共面行波电极吸收型光调制器，其特征在于：所述第一电极(51)、第二电极(52)、第一接地电极(91)、第二接地电极(92)、第三接地电极(93)、第四接地电极(94)的材质为金、银、铜、铂、钛、镍、钴、钯中任意一种或其组合体。
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