[发明专利]低浓度六氟化硫气体回收装置及其回收方法

权利要求书

1.低浓度六氟化硫气体回收装置，其特征在于：包括混合气体进气口、第一压缩机、第二压缩机、存储罐、第一二位三通阀、第二二位三通阀、第三二位三通阀、第四二位三通阀、第一电动蝶阀、第二电动蝶阀、氮气输入口、氮气排空口、六氟化硫回收口、第一分子筛、第二分子筛和六氟化硫检测仪；

混合气体进气口与第一压缩机的进气口连接，第一压缩机的出气口与第一二位三通阀的第一端口连接，第一二位三通阀的第二端口与第二分子筛的混合气进口连接，第一二位三通阀的第三端口与第二分子筛的混合气进口连接，氮气输入口与第二二位三通阀的第一端口连接，第二二位三通阀的第二端口与第二分子筛的氮气入口连接，第二二位三通阀的第三端口与第一分子筛的氮气入口连接，第一分子筛的出气口与第一电动蝶阀的进气口连接，第一电动蝶阀的出气口与第三二位三通阀的第一端口连接，第二分子筛的出气口与第二电动蝶阀的进气口连接，第二电动蝶阀的出气口与第四二位三通阀的第一端口连接，第三二位三通阀的第二端口和第四二位三通阀的第三端口均通过六氟化硫检测仪与氮气排空口连接，第三二位三通阀的第三端口和第四二位三通阀的第二端口均与第二压缩机的进气口连接，第二压缩机的出气口通过六氟化硫回收口与存储罐的进气口连接。

2.根据权利要求1所述的低浓度六氟化硫气体回收装置，其特征在于：第一分子筛内设置有第一加热棒，第一分子筛上连接有第一压力表。

3.根据权利要求2所述的低浓度六氟化硫气体回收装置，其特征在于：第二分子筛内设置有第二加热棒，第二分子筛上连接有第二压力表。

4.采用如权利要求3所述的低浓度六氟化硫气体回收装置的回收方法，其特征在于：包括以下步骤，

（1）第一分子筛对混合气体中的六氟化硫的吸附：在第一压缩机的作用下，六氟化硫气体和氮气的混合气体由混合气体进气口进入到第一压缩机内，第一压缩机把混合气体增压，然后通过第一二位三通阀切通第一端口和第三端口进入到第一分子筛内进行六氟化硫气体的吸附，第一电动蝶阀自动调整含有微量六氟化硫气体的氮气流出量以调节第一分子筛内部的压力，使第一分子筛内部的压力维持在0.6～0.7Mpa，第三两位三通阀切通第一端口和第二端口，第一分子筛内的含有微量六氟化硫气体的氮气依次通过第一电动蝶阀、第三二位三通阀和六氟化硫检测仪后通过氮气排空口进行排空，在氮气排空口处设置的六氟化硫检测仪实时监测经第一分子筛吸附后氮气中六氟化硫气体的含量；当六氟化硫检测仪检测到六氟化硫的含量超过0.01%这个排放要求时，表明第一分子筛吸附六氟化硫气体已经饱和，需要对第一分子筛进行再生；

（2）切换工作方式，让第二分子筛对混合气体中的六氟化硫的吸附，同时对第一分子筛进行加热再生；

第二分子筛对混合气体中的六氟化硫的吸附的过程为：将第一二位三通阀切通第一端口和第二端口，在第一压缩机的作用下，六氟化硫气体和氮气的混合气体由混合气体进气口进入到第一压缩机内，第一压缩机把混合气体增压，然后通过第一二位三通阀进入到第二分子筛内进行六氟化硫气体的吸附，第二电动蝶阀自动调整氮气流出量以调节第二分子筛内部的压力，使第二分子筛内部的压力维持在0.6～0.7Mpa，第四两位三通阀切通第一端口和第三端口，第二分子筛内的氮气依次通过第二电动蝶阀、第四二位三通阀和六氟化硫检测仪后通过氮气排空口进行排空，在氮气排空口处设置的六氟化硫检测仪实时监测经第二分子筛吸附后氮气中六氟化硫气体的含量；当六氟化硫检测仪检测到六氟化硫的含量超过0.01%这个排放要求时，表明第二分子筛吸附六氟化硫气体已经饱和，需要对第二分子筛进行再生；

对第一分子筛进行加热再生的过程为：第一二位三通阀切通第一端口和第二端口后，打开第一分子筛内的第一加热棒，把第一分子筛内的温度加热到180℃；六氟化硫气体被释放出来，第三两位三通阀切通第一端口和第三端口，第一电动蝶阀全开，然后启动第二压缩机把第一分子筛释放的六氟化硫气体从第一分子筛内抽出并压缩到存储罐内，当第一压力表的示数小于0.1Mpa，即第一分子筛内部压力小于0.1Mpa时,把第二两位三通阀切通第一端口和第三端口，氮气由氮气输入口注入到第一分子筛内2～3分钟后第一分子筛再生结束，关闭氮气输入口的气源，关闭第一加热棒停止第一分子筛加热，保持第二压缩机继续工作2～5分钟后，再关闭第二压缩机和第一电动蝶阀；

（3）切换工作方式，让第一分子筛对混合气体中的六氟化硫的吸附，同时对第二分子筛进行加热再生；

第一分子筛对混合气体中的六氟化硫的吸附过程与步骤（1）的过程相同；

对第二分子筛进行加热再生的过程为：第一二位三通阀切通第一端口和第三端口后，打开第二分子筛内的第二加热棒，把第二分子筛内的温度加热到180℃；六氟化硫气体被释放出来，第四两位三通阀切通第一端口和第二端口，第二电动蝶阀全开，然后启动第二压缩机把第二分子筛释放的六氟化硫气体从第二分子筛内抽出并压缩到存储罐内，当第二压力表的示数小于0.1Mpa，即第一分子筛内部压力小于0.1Mpa时,把第二两位三通阀切通第一端口和第二端口，氮气由氮气输入口注入到第二分子筛内2～3分钟后第二分子筛再生结束，关闭氮气输入口的气源，关闭第二加热棒停止第二分子筛加热，保持第二压缩机继续工作2～5分钟后，再关闭第二压缩机和第二电动蝶阀。

（4）、循环操作步骤（2）和步骤（3），第一分子筛和第二分子筛交替循环吸附和再生，连续不断地进行低浓度六氟化硫气体的回收作业，并保证排放尾气中六氟化硫含量满足环保要求。