[发明专利]一种电化学机械光整加工装置及加工方法

权利要求书

1.一种电化学机械光整加工装置，其特征是，所述加工装置包括电解液槽（6）、工具电极（2）、循环泵（7）；电解液槽（6）内放置工件（9），工件（9）通过电源（1）连接工具电极（2），工具电极（2）上设置若干个油石条（4），油石条（4）在工件（9）表面往复运动；工具电极（2）通过管道（3）连接所述电解液槽（6），管道（3）上设有循环泵（7）；工具电极（2）内设有电解液流通通道，管道（3）、电解液流通通道、电解液槽（6）及电解槽（6）内的电解液（5）形成一个循环回路，电解液（5）在循环回路中流动。

2.根据权利要求1所述的电化学机械光整加工装置，其特征是，所述电解液流通通道包括第一竖向管道（31）、横向管道（32）、以及若干个第二竖向管道（33），第一竖向管道（31）下端与第一横向管道（32）相连通，第一竖向管道上端伸出工具电极（2）外并与管道（3）相连接，横向管道（32）与第二竖向管道（33）上端相连通，第二竖向管道（33）设置在相邻油石条（4）之间。

3.根据权利要求1所述的电化学机械光整加工装置，其特征是，所述工件（9）浸在电解液（5）中，管道（3）上设有控制阀（8），控制阀（8）位于循环泵（7）上游。

4.根据权利要求3所述的电化学机械光整加工装置，其特征是，所述控制阀（8）为电磁阀。

5.根据权利要求1所述的电化学机械光整加工装置，其特征是，所述循环泵（9）采用单级离心泵。

6.根据权利要求1所述的电化学机械光整加工装置，其特征是，所述工具电极（2）用于溶解工件表面金属材料，油石条（4）用于去除电化学反应过程中的钝化膜，加快溶解速率。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的电化学机械光整加工装置的加工方法，其特征是，工件（9）浸在电解液（5）中，通过电线与电源（1）、工具电极（2）相连；油石条（4）装在工具电极（2）上，工具电极（2）中有电解液流通通道；电解液槽（6）与工具电极（2）的电解液流通管道通过管道（3）相连，管道（3）上设有循环泵（7）及控制阀（8）控制电解液的通断流通；

开通电源（1）时，同时打开循环泵（7）及控制阀（8），通过工具电极（2）上油石条（4）在工件（9）表面往复运动清除工件表面微观高点和缺陷，在此过程中，工具电极（2）溶解工件（9）表面金属材料，油石条（4）去除电化学反应过程中的钝化膜，加快溶解速率。