[发明专利]一种聚四氟乙烯与氧化铝原子层复合减反膜的制备方法有效
| 申请号： | 201710508231.7 | 申请日： | 2017-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN107337356B | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 张政军;乐雅;淮晓晨 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | C03C17/42 | 分类号： | C03C17/42 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 邸更岩 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 聚四氟乙烯 氧化铝 原子 复合 减反膜 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种聚四氟乙烯与氧化铝原子层复合减反膜的制备方法，其特征在于该方法包括如下步骤：
1)利用电子束蒸镀方法，先将沉积角度设定为0°，在透明或半透明的基底上沉积一层反射率为1.30～1.50的致密聚四氟乙烯层；
2)将沉积角度设定为80°，再在获得的致密聚四氟乙烯层上沉积一层反射率为1.15～1.25的多孔聚四氟乙烯纳米棒层，得到双层聚四氟乙烯膜；
3)将获得的双层聚四氟乙烯膜放入原子层沉积设备中，循环次数设置为5～15，原子层沉积流量10～20SCCM；氧化铝包覆层的厚度6～7nm。
2.按照权利要求1所述的一种聚四氟乙烯与氧化铝原子层复合减反膜的制备方法，其特征在于：步骤1)中所述电子束蒸镀的沉积速率为
3.根据权利要求1或2所述的一种聚四氟乙烯与氧化铝原子层复合减反膜的制备方法，其特征在于：所述透明或半透明的基底包括石英片、BK7、SF5、LAK14、FTO和派莱克斯玻璃中的任一种，它们的折射率在1.45～1.95之间。
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