[发明专利]模具、压印方法、压印装置和用于制造半导体制品的方法

权利要求书

1.一种用于压印装置的模具，所述模具包括：

形成有图案的图案部分；和

围绕图案部分的周边部分，

其中，周边部分配设有遮光部分，该遮光部分阻挡用于固化压印材料的固化光并使用于对检测目标进行检测的检测光透射。

2.根据权利要求1所述的模具，其中，遮光部分针对对应于固化光的波长带宽具有大于等于0％且小于等于1％的透射率，而针对对应于检测光的波长带宽具有大于等于10％且小于等于100％的透射率。

3.根据权利要求1所述的模具，其中，遮光部分被配设在与形成有图案部分的表面相对的表面上。

4.根据权利要求1所述的模具，其中，遮光部分被配设在形成有图案部分的表面上。

5.根据权利要求1所述的模具，其中，遮光部分被配设在与形成有图案部分的表面相对的表面和形成有图案部分的表面上。

6.根据权利要求1所述的模具，其中，遮光部分包括配设在模具的表面上的遮光膜。

7.根据权利要求1所述的模具，

其中，遮光部分是附装到模具的遮光构件，并且

其中，遮光构件通过在使固化光透射的构件的表面上附装阻挡固化光并使检测光透射的遮光膜而获得。

8.根据权利要求1所述的模具，其中，遮光部分包括，含有CrN的遮光膜。

9.根据权利要求1所述的模具，其中，遮光部分包括，由电介质多层膜形成的遮光膜。

10.根据权利要求1所述的模具，其中，检测目标包括，压印装置的基准标记。

11.根据权利要求1所述的模具，其中，检测目标包括，被供给在基板上的压印材料。

12.根据权利要求1所述的模具，其中，当使模具的图案部分与基板上的压印材料接触时，遮光部分在与周边部分相对应的区域使用于检测压印材料的检测光透射。

13.根据权利要求1至10中的任一项所述的模具，其中，遮光部分阻挡作为固化光的紫外光，并且使作为检测光的可见光或红外光透射。

14.一种压印方法，该压印方法用于通过使用包括形成有图案的图案部分和围绕图案部分的周边部分的模具而在被供给在基板上的压印材料上形成图案，所述周边部分配设有遮光部分，所述压印方法包括：

将模具和基板相互对准；以及

使模具与压印材料接触并固化压印材料，

其中，遮光部分阻挡用于固化压印材料的固化光，并使用于对检测目标进行检测的检测光透射。

15.一种压印装置，其被构造为通过使用模具在基板上形成压印材料的图案，

其中，模具包括形成有要转印到压印材料上的图案的图案部分和围绕图案部分的周边部分，并且

其中，周边部分配设有遮光部分，该遮光部分阻挡用于固化压印材料的固化光并使用于对检测目标进行检测的检测光透射。

16.一种用于制造制品的方法，所述方法包括：

通过根据权利要求14所述的压印方法在基板上形成压印材料的图案；以及

对在所述形成中已经形成有图案的基板进行处理。