[发明专利]一种三维曲面上微细图形轮廓信息的精密测量方法

权利要求书

1.一种三维曲面上微细图形轮廓信息的精密测量方法，其特征在于，包括：

(1)在三维曲面表面，涂布柔性材料；

(2)柔性材料固化后，将印有微细图形的柔性材料摊开在平整基底上，柔性材料印有微细图形的一面朝上；

(3)对摊开在平整基底上的柔性材料印有的微细图形进行测量，得到三维曲面上微细图形的轮廓信息。

2.如权利要求1所述的一种三维曲面上微细图形轮廓信息的精密测量方法，其特征在于，所述轮廓信息为轮廓尺寸或者膜厚。

3.如权利要求2所述的一种三维曲面上微细图形轮廓信息的精密测量方法，其特征在于，所述轮廓信息为膜厚时，步骤(1)的具体实现方式为：在三维曲面涂布薄膜之前，在三维曲面表面贴一层无痕胶带，在三维曲面涂布薄膜之后取掉无痕胶带得到一道台阶，然后涂布柔性材料。

4.如权利要求2所述的一种三维曲面上微细图形轮廓信息的精密测量方法，其特征在于，所述轮廓信息为轮廓尺寸时，步骤(1)的具体实现方式为：在带有微细结构的三维曲面表面，涂布柔性材料。

5.如权利要求1-4所述的任意一种三维曲面上微细图形轮廓信息的精密测量方法，其特征在于，所述柔性材料为聚二甲基硅氧烷、聚烯烃弹性体和乙烯-醋酸乙烯共聚物中的任意一种。

6.如权利要求1-4所述的任意一种三维曲面上微细图形轮廓信息的精密测量方法，其特征在于，所述涂布为旋涂、提拉涂布、刷涂和电泳涂布中的任意一种。

7.如权利要求1-4所述的任意一种三维曲面上微细图形轮廓信息的精密测量方法，其特征在于，所述柔性材料固化的固化温度为25℃-150℃，固化时间为10min-48h。

8.如权利要求1-4所述的任意所述的一种三维曲面上微细图形轮廓信息的精密测量方法，其特征在于，所述柔性材料固化后厚度高出微细图形的深度或高度的范围为50μm-200μm。

9.如权利要求1-4所述的任意的一种三维曲面上微细图形轮廓信息的精密测量方法，其特征在于，所述基底为硅片、玻璃、铜片和铝片中的任意一种。

10.如权利要求1-4所述的任意一种三维曲面上微细图形轮廓信息的精密测量方法，其特征在于，所述步骤(3)中的测量为表面探针式轮廓仪测量、原子力显微镜测量和超景深显微镜测量中的任意一种。