[发明专利]照明单元、缺陷检查装置及照明方法

说明书

本发明提供一种照明单元、缺陷检查装置及照明方法，即使检查对象物是存在光泽不均的物品，也可以适当进行色彩缺陷或凹凸缺陷的检查。照明单元包括第1照明部、第2照明部及第3照明部。第1照明部从第1方向发出照射至安置在检查位置上的检查对象物的照明光。第2照明部从第2方向发出照射至安置在检查位置上的检查对象物的照明光。第3照明部从第3方向发出照射至安置在检查位置上的检查对象物的照明光。第1方向、第2方向及第3方向是各不相同的方向。第2照明部或第3照明部中的一者发出与第1照明部颜色相同的照明光。第1方向是如下的方向，即，使由第1照明部照射，并经检查对象物反射的正反射光的光轴与相机的光轴相吻合。

技术领域

本发明涉及一种照明单元、缺陷检查装置及照明方法。

背景技术

先前，存在检查在检查对象物中是否产生有色彩缺陷或凹凸缺陷(以下，对它们进行总称时，简称为缺陷)的缺陷检查装置(参照专利文献1)。检查对象物是各种成型体，是电子零件或电子设备等物品。色彩缺陷是在检查对象物的成型工序时或成型工序后，因异物附着等而产生的缺陷。凹凸缺陷是检查对象物的成型工序时的成型不良、或成型工序后碰撞到某物等而产生的瑕疵或凹痕。

专利文献1的缺陷检查装置具有如下构成：对拍摄检查对象物而成的图像进行处理，并检查在检查对象物中是否产生有缺陷。具体而言，所述缺陷检查装置是在对检查对象物，从第1方向照射第1照明光，并且从与第1方向不同的第2方向照射第2照明光的状态下，利用相机对所述检查对象物的彩色图像进行拍摄。第1照明光与第2照明光是不同颜色的照明光。相机安装在接收照明光的正反射光的方向上，所述照明光是从第1方向照射至检查对象物。缺陷检查装置针对相机所拍摄的检查对象物的图像，生成与第1照明光的颜色相对应的第1色彩图像及与第2照明光的颜色相对应的第2色彩图像。而且，缺陷检查装置对第1色彩图像进行处理而检查在检查对象物中是否产生有凹凸缺陷，并且对第2色彩图像进行处理而检查在检查对象物中是否产生有色彩缺陷。

专利文献1的缺陷检查装置是利用如下原理，来检查在检查对象物中是否产生有缺陷，所述原理是在产生有凹凸缺陷的地方，在所对应的像素中接收到的第1照明光的正反射光的光量会减少，以及在产生有色彩缺陷的地方所对应的像素及未产生色彩缺陷的地方所对应的像素中，所接收到的漫反射光(第2照明光的反射光)的光量会产生差异。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2006-313146号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

但是，专利文献1的缺陷检查装置是将检查对象物的光泽不均作为缺陷(色彩缺陷)来检测的装置。因此，在专利文献1的缺陷检查装置中，如果检查对象物是存在光泽不均的物品，则无法适当地进行缺陷检查。

所谓存在光泽不均的检查对象物，是指检查面的反射率不一样的物品，例如挠性基板(挠性印刷电路(flexible printed circuit，FPC)基板)、印刷基板、表面上描绘有花纹的物品(包含花纹上形成有涂布层的物品)。FPC基板或印刷基板形成有电路图案(导体图案)，通常由金属薄膜形成。但是，金属薄膜的表面因为其加工上的问题而会在表面上斑驳地存在反射率高的地方(镜面)及反射率低的地方(扩散面)，从而产生了光泽不均。

本发明的目的在于提供一种即使检查对象物是存在光泽不均的物品，也可以适当地进行色彩缺陷或凹凸缺陷的检查的技术。

[解决问题的手段]

为了达成所述目的，本发明的照明单元构成如下。

所述照明单元在利用相机对安置在检查位置上的检查对象物进行拍摄时，对所述检查对象物照射照明光。照明单元包括第1照明部、第2照明部及第3照明部。