[发明专利]多晶硅铸锭石英坩埚高纯石英砂涂层粘结剂及其制备方法

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭石英坩埚高纯石英砂涂层粘结剂的制备方法，其特征在于：所述粘结剂包括质量百分比如下的原料组分：

上述所有组分之和为100％，

所述水溶性硅氧烷或羧基改性聚合物为硅氧烷改性聚乙烯醇、硅氧烷改性聚乙烯吡咯烷酮、羧基改性聚乙烯醇中至少一种，

所述硅溶胶为高纯度硅溶胶；所述高纯度硅溶胶金属离子含量＜1ppm，

所述粘结剂的制备方法，包括以下步骤：

(1)按照所述的原料配比称取各原料组分；

(2)将水溶性硅氧烷或羧基改性聚合物、硅溶胶、增塑剂、消泡剂、杀菌剂加入到高纯水中，进行混料处理，得第一混合物料；

(3)在30-80℃下，将所述第一混合物料过交换树脂，除去金属离子，得第二混合物料；

(4)将pH缓冲液加入到所述第二混合物料，进行混料处理，调节pH值至5-9，得到多晶硅铸锭石英坩埚高纯石英砂涂层粘结剂。

2.如权利要求1所述的多晶硅铸锭石英坩埚高纯石英砂涂层粘结剂的制备方法，其特征在于：所述增塑剂为乙醇、乙二醇、甘油、聚乙二醇中的至少一种；所述消泡剂为聚醚改性硅氧烷、乳化硅油中的一种或两种。

3.如权利要求1所述的多晶硅铸锭石英坩埚高纯石英砂涂层粘结剂的制备方法，其特征在于：所述pH缓冲液为醋酸-醋酸铵，柠檬酸-柠檬酸铵中的一种。

4.如权利要求1所述的多晶硅铸锭石英坩埚高纯石英砂涂层粘结剂的制备方法，其特征在于：所述杀菌剂为异噻唑啉酮、甲醛、戊二醛、双氧水中任一种。

5.如权利要求1所述的多晶硅铸锭石英坩埚高纯石英砂涂层粘结剂的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)中，混料处理的搅拌速率为100-200r/min，搅拌时间为60-120min；所述步骤(4)中，混料处理的搅拌速率为100-200r/min，搅拌时间为30-60min。

6.如权利要求1所述的多晶硅铸锭石英坩埚高纯石英砂涂层粘结剂的制备方法，其特征在于：所述交换树脂包括氢型阳离子交换树脂、氢型阳离子与氢氧型阴离子混合交换树脂。

7.如权利要求1-6任一项所述的多晶硅铸锭石英坩埚高纯石英砂涂层粘结剂的制备方法，其特征在于：该粘结剂用于多晶硅铸锭石英坩埚高纯石英砂涂层的制作和粘结。