[发明专利]一种陶瓷靶材的制备方法

权利要求书

1.一种陶瓷靶材的制备方法，具体为[(Bi_1/2Na_1/2)_0.9118Ba_0.0582La_0.02]Ti_0.96M_0.04O₃陶瓷靶材，其中M为Hf、Zr和Sn中的一种，其特征在于具体步骤为：

(1)烘料：称量前将起始原料Bi₂O₃、Na₂CO₃、BaCO₃、TiO₂、La₂O₃、MO₂置于烘箱中烘料3～6小时，烘料温度为100～120℃；

(2)配料：将步骤(1)烘干的原料按照[(Bi_1/2Na_1/2)_0.9118Ba_0.0582La_0.02]Ti_0.96M_0.04O₃相应的化学计量比称量；

(3)球磨：将步骤(2)称量好的原料置于以酒精为介质、氧化锆球为磨球的尼龙罐中进行混料，混料时间为4～12小时，制成均匀浆料；

(4)干燥：将步骤(3)制得的均匀浆料烘干；

(5)煅烧：将步骤(4)烘干的粉料过筛并轻压成块状坯体置于马弗炉中，在800～950℃煅烧4～8小时，制成煅烧粉料；

(6)球磨：将步骤(5)煅烧后的粉料研磨成细粉，再次球磨、烘干得到陶瓷粉料；

(7)制坯：将步骤(6)制成的陶瓷粉料采用钢模手压成直径5～20mm、厚度约0.5～1.2mm的样片，将样片放入冷等静压机中，施加200～350MPa的压力，保压60～180s，制得[(Bi_1/2Na_1/2)_0.9118Ba_0.0582La_0.02]Ti_0.96M_0.04O₃陶瓷坯体，其中M为Hf、Zr和Sn中的一种；(样片厚度0.5mm的端点值在具体实施例中并未有体现)

(8)烧结：将步骤(7)制成的陶瓷坯体置于马弗炉中，在1100～1200℃烧结4～6小时；

(9)冷却：自然冷却至室温，即制得[(Bi_1/2Na_1/2)_0.9118Ba_0.0582La_0.02]Ti_0.96M_0.04O₃陶瓷靶材。

2.根据权利要求1所述的一种陶瓷靶材制备方法，其特征在于，步骤(1)中所述的起始原料的重量份数配比为：Bi₂O₃：40～50份，Na₂CO₃：5～15份，BaCO₃：4～7份，TiO₂：30～35份，La₂O₃：1～2份，MO₂：1～3份。

3.根据权利要求1所述的一种陶瓷靶材制备方法，其特征在于，步骤(5)中所述的煅烧温度为900℃。

4.根据权利要求1所述的一种陶瓷靶材制备方法，其特征在于，步骤(5)中所述的煅烧时间为6小时。

5.根据权利要求1所述的一种陶瓷靶材制备方法，其特征在于，步骤(8)中所述的烧结时间为5小时。