[发明专利]正型感光性树脂组合物及其应用

说明书

技术领域

本发明是有关一种正型感光性树脂组合物及其应用，特别是提供一种具有较佳的解析度及残膜率的正型感光性树脂组合物及其应用。

背景技术

随着生活中各种电子产品的微小化，各种智能手机、薄型电视以及高效能的微处理器充斥在现今生活中，而使得光刻制程越来越精密，所形成的线宽也越来越精细。

针对光阻不同特性的需求，日本公开特许第2010-20291号揭示一种正型感光性树脂组合物，该正型感光性树脂组合物包含碱溶性树脂、二叠氮醌化合物、固化剂及有机溶剂。碱溶性树脂可包含丙烯酰基共聚物及酚醛清漆树脂，其中丙烯酰基共聚物是不饱和烯烃化合物及不饱和羧酸的单体在溶剂及聚合引发剂存在下，经自由基聚合反应来制备，而酚醛清漆树脂是藉由酚化合物与醛化合物或酮化合物在酸性催化剂存在下来制备。该碱可溶性树脂可改善正型感光性树脂组合物的耐热性。

其次，日本公开特许第2010-39270号皆是一种正型感光性树脂组合物，该正型感光性树脂组合物包含一高分子聚合物、二叠氮醌化合物、交联剂及溶剂。该高分子聚合物包含如下式(V)所示的化合物、丙烯酸酯化合物与酚醛羟基化合物，其中该高分子聚合物包含1重量百分比至50重量百分比的如下式(V)所示的化合物。当式(V)所示的化合物的使用量介于前述的范围时，所制得的正型感光性树脂组合物具有良好的接着性及密着性：

于式(V)中，P₁代表氢原子或甲基；P₂代表次苯基(phenylene group)或-COO-；P₃与P₄分别独立地代表苯基、碳数为1至6的烷基或烷氧基；P₅代表碳数为1至6的烷基；g代表0至3的整数；f代表1至10的整数。

然而，前述习知技术的解析度与残膜率仍无法达到业界的要求。

有鉴于此，于本领域中有必要发展一种具有较佳解析度与残膜率的正型感光性树脂组合物材料，以克服习知技术的问题。

发明内容

因此，本发明的一个方面在于提供一种正型感光性树脂组合物。此正型感光性树脂组合物包含酚醛清漆树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)及溶剂(C)，且此正型感光性树脂组合物具有较佳的解析度及残膜率。

本发明的另一方面在于提供一种图案形成方法，其是利用前述的正型感光性树脂组合物形成图案于基板上。

本发明的又一方面在于提供一种薄膜晶体管阵列基板，其包含前述的方法所形成的图案。

本发明的再一方面在于提供一种液晶显示元件，其包含前述的薄膜晶体管阵列基板。

根据本发明的上述方面，提出一种正型感光性树脂组合物。此正型感光性树脂组合物包含酚醛清漆树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)及溶剂(C)，以下析述之。

酚醛清漆树脂(A)

本发明的酚醛清漆树脂(A)可包含二甲酚型酚醛清漆树脂(A-1)及/或其他酚醛清漆树脂(A-2)。

二甲酚型酚醛清漆树脂(A-1)

该二甲酚型酚醛清漆树脂(A-1)是由醛类化合物与芳香族羟基化合物，在酸性催化剂的存在下经聚缩合反应所形成，其中该芳香族羟基化合物至少包含二甲酚(xylenol)类化合物。

前述的醛类化合物的具体例，如：甲醛、多聚甲醛(paraformaldehyde)、三聚甲醛(trioxane)、乙醛、丙醛、丁醛、三甲基乙醛、丙烯醛(acrolein)、丁烯醛(crotonaldehyde)、环己醛(cyclo hexanealdehyde)、呋喃甲醛(furfural)、呋喃基丙烯醛(furylacrolein)、苯甲醛、对苯二甲醛(terephthal aldehyde)、苯乙醛、α-苯基丙醛、β-苯基丙醛、邻-甲基苯甲醛、间-甲基苯甲醛、对-甲基苯甲醛、邻-氯苯甲醛、间-氯苯甲醛、对-氯苯甲醛、肉桂醛等。前述醛类化合物可单独一种使用或混合多种使用。较佳地，该醛类化合物可为甲醛或苯甲醛。