[发明专利]一种改善PECVD镀膜膜色的方法

权利要求书

1.一种改善PECVD镀膜膜色的方法，其特征在于，将石墨舟清洗好后进行两次饱和，包括以下步骤：

步骤1：对石墨舟舟片的定位柱卡点进行保护，然后进行第一次饱和；

步骤1的具体步骤如下：先把石墨舟拆开，然后在两片舟片的定位柱卡点对应位置装上陶瓷粒，最后把石墨舟组装好，进行第一次饱和；

步骤2：将步骤1中定位柱卡点的保护物取出，然后进行第二次饱和；

步骤2的具体步骤如下：把石墨舟两侧的螺丝拧松，晃动舟页把定位柱卡点处的陶瓷粒取出来，拧紧石墨舟两侧的螺丝并校准，然后进行第二次饱和。

2.根据权利要求1所述的一种改善PECVD镀膜膜色的方法，其特征在于：步骤1的第一次饱和完成后，待石墨舟冷却后，再进行步骤2。

3.根据权利要求1所述的一种改善PECVD镀膜膜色的方法，其特征在于：步骤1和步骤2的两次饱和工艺的沉积时间之和与原有一次饱和工艺的沉积时间相同。