[发明专利]划刻装置以及保持架单元

权利要求书

1.一种划刻装置，其在基板表面形成划刻线，

所述划刻装置的特征在于，

所述划刻装置具备：

保持架单元，其保持划刻轮；以及

划刻头，其将所述保持架单元保持为能够绕与所述基板表面垂直的轴进行旋转，

所述保持架单元具备：

保持槽，其供所述划刻轮插入；

销孔，其以跨越所述保持槽的方式形成；以及

销轴，其向被插入到所述保持槽中的所述划刻轮的贯通孔和所述销孔插入，

将所述贯通孔与所述销轴之间的游隙、所述保持槽的内侧面与所述划刻轮的侧面之间的游隙、以及所述销轴相对于所述保持槽的内侧面的倾斜角设定为，在将所述划刻轮按压于所述基板表面时，将所述划刻轮的两侧面分别按压于所述保持槽的相互对置的内侧面，

所述销孔形成为，相对于与所述保持槽的内侧面垂直的方向，至少在与所述基板表面平行的方向上倾斜，

插入到所述销孔以及所述贯通孔中的所述销轴相对于与所述保持槽的内侧面垂直的方向，至少在与所述基板表面平行的方向上倾斜。

2.根据权利要求1所述的划刻装置，其特征在于，

在与所述基板表面平行的方向上的所述销轴相对于与所述保持槽的内侧面垂直的方向的倾斜角设定为2°以下。

3.根据权利要求1或2所述的划刻装置，其特征在于，

所述销孔形成为，相对于与所述保持槽的内侧面垂直的方向，在与所述基板表面垂直的方向上也倾斜，

插入到所述销孔以及所述贯通孔中的所述销轴相对于与所述保持槽的内侧面垂直的方向，在与所述基板表面垂直的方向上也倾斜。

4.根据权利要求3所述的划刻装置，其特征在于，

在与所述基板表面垂直的方向上的所述销轴相对于与所述保持槽的内侧面垂直的方向的倾斜角设定为1.5度以下。

5.一种保持架单元，其对用于形成划刻线的划刻轮进行保持，

所述保持架单元的特征在于，

所述保持架单元具备：

保持槽，其供所述划刻轮插入；

销孔，其以跨越所述保持槽的方式形成；以及

销轴，其向被插入到所述保持槽中的所述划刻轮的贯通孔和所述销孔插入，

将所述贯通孔与所述销轴之间的游隙、所述保持槽的内侧面与所述划刻轮的侧面之间的游隙、以及所述销轴相对于所述保持槽的内侧面的倾斜角设定为，在将所述划刻轮按压于基板表面时，将所述划刻轮的两侧面分别按压于所述保持槽的相互对置的内侧面，

所述销孔形成为，相对于与所述保持槽的内侧面垂直的方向，至少在与所述基板表面平行的方向上倾斜，

插入到所述销孔以及所述贯通孔中的所述销轴相对于与所述保持槽的内侧面垂直的方向，至少在与所述基板表面平行的方向上倾斜。