[发明专利]灭火装置及多晶硅生产系统

说明书

技术领域

本发明涉及多晶硅生产设备领域，具体而言，涉及一种灭火装置及多晶硅生产系统。

背景技术

目前改良西门子法多晶硅生产过程中会产生含有氯硅烷的可燃废气，这些废气具有可燃性和刺激性。不能够直接排空，其通常的处理方法是由两级尾气淋洗塔进行串联，通过尾气与碱性淋洗水的接触而使氯硅烷发生水解反应，水解后的SiO2、HCL被淋洗水吸收。氮气、氢气等由塔顶烟囱飘出。

在实际生产中，由于生产装置操作不当会导致氯硅烷废气的量突然增加。尤其是氯硅烷中二氯二氢硅含量增加时，此物质燃点很低，很容易着火。导致淋洗塔在运行过程中会突然发生烟囱冒火的现象，尤其是淋洗塔出气口的位置，更容易着火，并且用常规的消防水浇至烟囱口没有办法扑灭火焰。只能等燃点低的轻组分物质燃烧完后才能灭火。对安全生产造成隐患，且着火时会烧毁烟囱并产生大量的粉尘物质，污染环境。

提供一种结构简单、自动化程度高，能够自动扑灭淋洗塔出气口处明火的灭火装置，这对于多晶硅的安全生产具有比较重要的现实意义。

发明内容

本发明的目的在于提供了一种灭火装置，其能够对淋洗塔出气口附近的明火及时自动扑灭。

本发明的另一目的在于提供一种多晶硅生产系统，其包括了淋洗塔和上述灭火装置，故能够对淋洗塔出气口附近的明火及时自动扑灭。

本发明是这样实现的：

一种灭火装置，用于与淋洗塔连接，包括：

罐体，所述罐体包括连接管和第一排气口，所述连接管用于与所述淋洗塔连接；

感应装置，用于感应罐体的烟火；

输气管，所述输气管的一端与所述罐体的内部连通，另一端用于与气源连接，所述气源能够供应不可燃气体；

截止阀，所述截止阀设置在所述输气管上；

控制器，所述控制器与所感应装置、所述截止阀连接；所述控制器能够打开或关闭所述截止阀。

进一步，

所述连接管还包括第一开关门、第二开关门、第二排气口和连杆；所述第一开关门用于打开或关闭所述连接管；所述第二排气口设置在所述连接管的管壁上，所述第二开关门用于打开或关闭所述第二排气口；

所述第二开关门相对于所述第一开关门更靠近所述连接管的进气口；

所述第一开关门及所述第二开关门分别与所述连接管可转动连接，所述连杆的一端与所述第一开关门铰接，另一端与所述第二开关门铰接，所述第一开关门关闭时能够通过所述连杆带动所述第二开关门打开；

所述输气管还包括第一支管，所述第一开关门打开时，所述第一支管的出气口位于所述第一开关门的后面，从所述第一支管排出的气体能够将所述第一开关门关闭。

由于采用了上述结构，上述可以防止罐体的内明火进入到淋洗塔内，并且防止淋洗塔内继续向罐体内通入可燃气体，有助于灭火。

进一步，

所述连接管的内壁上设置有环形凸缘，所述第一开关门关闭时，所述凸缘与所述第一开关门配合密封。

环形凸缘上还可以设置密封件，从而当第一开关门关闭时，能够保证第一开关门与连接管管壁之间的可靠密封。

进一步，

所述输气管还包括第二支管，所述第二支管通向所述第二排气口附近。

进一步，

所述气源压力大于或等于0.6MPa。

进一步，

所述气源为氮气源。

进一步，

所述感应装置为电接点温度计。

进一步，

所述连接管的进气口设置有法兰。

进一步，

所述感应装置设置在所述罐体的排气口上部。

一种多晶硅生产系统，所述系统包括淋洗塔和所述的灭火装置，所述连接管与所述淋洗塔的排气管连接。

本发明的有益效果是：本发明通过上述设计得到的灭火装置及多晶硅生产系统，当从淋洗塔中出来的可燃气体着火时，感应装置感应到烟火后，给控制器信号，控制器打开输气管上的截止阀，输气管将大量的非可燃气体通入到罐体内从而进行及时灭火；灭火完毕后，感应装置通过控制器关闭截止阀。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本发明实施方式提供的灭火装置的结构示意图；