[发明专利]一种金、银和钯的合金键合线及其制备方法在审
申请号: | 201710473009.8 | 申请日: | 2017-06-15 |
公开(公告)号: | CN107316854A | 公开(公告)日: | 2017-11-03 |
发明(设计)人: | 李军;田鹏 | 申请(专利权)人: | 滕州晨晖电子集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/49 | 分类号: | H01L23/49;H01L21/48;C22C5/06;C22C1/02;C22F1/14 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 277500 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 合金 键合线 及其 制备 方法 | ||
1.一种金、银和钯的合金键合线,其特征在于,包括金元素、银元素、钯元素和杂质,金元素占总质量的质量分数为1-5%,钯元素占总质量的质量分数为1-15%,银元素占总质量的质量分数大于80%,余量为杂质。
2.根据权利要求1所述的金、银和钯的合金键合线,其特征在于,所述金和银的纯度不低于99.999%,钯的纯度不低于99.99%。
3.一种如权利要求1-2任一所述的金、银和钯的合金键合线的制备方法,其特征在于,具体步骤如下:
步骤一,称取原料:称取纯度99.999%以上的金、纯度99.999%以上的银和纯度99.99%以上的钯;
步骤二,制备合金;在真空度不大子1*10-3pa的环境下制备银钯预合金;
步骤三,熔铸:在真空度不大于1*10-3pa的中频感应炉中,以1200-1300℃下精炼20-40分钟,再以50-100mm/min的速度进行下引式真空连续连铸,在水流量不低于10LPM以及水压力不低于0.4Mpa的条件下冷却,形成直径为7mm的线坯;
步骤四,拉线:先用单模拉线机将直径7mm线坯拉至直径不大于1mm的线坯,再用多模拉线机将线材拉至直径最小为0.012mm的成品线材,拉线速度为300-600m/min;
步骤五,清洗:对拉线后的线材清洗掉表面脏污;
步骤六,退火:将成品线材放入可控放线张力的自动放线竖式连续退火炉中进行退火处理,退火温度为400-500℃,退火过程中无需惰性气体保护;
步骤七,复绕:对退火后的键合线根据客户要求进行复绕。
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