[发明专利]喷嘴清扫构件、喷嘴清扫装置、涂布装置

说明书

本发明提供一种喷嘴清扫构件、喷嘴清扫装置及涂布装置，一方面可以利用喷嘴清扫构件来执行适合于从喷嘴稳定地喷出涂布液的清扫，一方面可以抑制伴随着喷嘴清扫构件的更换而产生的运营成本。本发明的喷嘴清扫构件通过相对于从设置于前端的喷出口喷出涂布液的喷嘴相对地移动，而刮除附着于喷嘴上的涂布液，所述喷嘴清扫构件包括：树脂制的对向部，在喷嘴的两侧面相对向；以及橡胶制的抵接部，设置于喷嘴的两侧面的各自的前端之间，抵接于喷出口形成开口的喷嘴的前端面。

技术领域

本发明涉及一种对液晶显示装置用玻璃基板、半导体圆片(wafer)、等离子体显示面板(plasma display panel，简称：PDP)用玻璃基板、光掩膜用玻璃基板、聚酰亚胺前体薄膜的支撑用的玻璃基板、彩色滤光片用基板、记录磁盘用基板、太阳能电池用基板、电子纸用基板等精密电子装置用基板(以下简称为“基板”)从喷嘴的喷出口喷出涂布液而进行涂布的涂布装置、去除附着于所述喷嘴的喷出口的涂布液的喷嘴清扫构件以及利用喷嘴清扫构件清扫喷嘴的喷嘴清扫装置。

背景技术

先前，已知有利用从设置于前端的喷出口喷出涂布液的狭缝喷嘴，将涂布液涂布于基板上的涂布装置。并且，在专利文献1的涂布装置中，设置有去除附着于狭缝喷嘴上的涂布液的擦拭单元。所述擦拭单元是使用具有与狭缝喷嘴的前端部的形状相对应的V字状的槽的清扫构件来清扫狭缝喷嘴。更具体而言，一边使狭缝喷嘴的前端部抵接于清扫构件的V字槽，一边使清扫构件沿狭缝喷嘴移动。通过这样使清扫构件滑动至狭缝喷嘴，可以刮除附着于狭缝喷嘴上的涂布液。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2012-200614号公报

发明内容

发明所要解决的问题

如上所述从狭缝喷嘴去除涂布液是为了从狭缝喷嘴的喷出口稳定地喷出涂布液而执行。特别是当涂布液多余地附着于喷出口开口的狭缝喷嘴的前端面时，容易对从喷出口的涂布液的喷出产生影响。因此，为了稳定地喷出涂布液，重要的是使清扫构件牢固地装配于狭缝喷嘴的前端面。但是，当使清扫构件牢固地装配于喷嘴时清扫构件的磨损会加剧，从而有可能产生频繁地更换清扫构件的需要。即，当为了稳定地喷出涂布液而想要确实地去除涂布液时，会产生频繁地出现清扫构件的更换而使运营成本增大之类的问题。

本发明是鉴于所述问题而完成的，目的在于一方面能够利用喷嘴清扫构件执行适合于从喷嘴稳定地喷出涂布液的清扫，一方面能够抑制伴随着喷嘴清扫构件的更换而产生的运营成本。

解决问题的手段

本发明的喷嘴清扫构件是通过相对于喷嘴相对地移动而刮除附着于喷嘴上的涂布液，所述喷嘴从设置于前端的喷出口喷出涂布液，喷嘴清扫构件包括：树脂制的对向部，在喷嘴的两侧面相对向；以及橡胶制的抵接部，设置于喷嘴的两侧面的各自的前端之间，抵接于喷出口形成开口的喷嘴的前端面。

本发明的喷嘴清扫装置去除附着于喷嘴上的涂布液，所述喷嘴从设置于前端的喷出口喷出涂布液，所述喷嘴清扫装置包括：所述喷嘴清扫构件；支撑部，对喷嘴清扫构件进行支撑；以及驱动部，通过对支撑部进行驱动，而使喷嘴清扫构件相对于喷嘴移动。

本发明的涂布装置包括：喷嘴，从设置于前端的喷出口喷出涂布液；以及所述喷嘴清扫装置。

如上所述构成的本发明(喷嘴清扫构件、喷嘴清扫装置、涂布装置)的清扫对象即喷嘴包括：两侧面；以及前端面，设置于所述两侧面各自的前端之间，并且喷出口开口。与此相对，喷嘴清扫构件包括在喷嘴的两侧面相对向的对向部、以及抵接于喷嘴的前端面的抵接部。因此，通过使喷嘴清扫构件相对于喷嘴滑动，可以利用喷嘴清扫构件的对向部刮除附着于喷嘴的两侧面的涂布液，并且利用喷嘴清扫构件的抵接部刮除附着于喷嘴的前端面的涂布液。