[发明专利]一种薄膜柔性力敏传感器

权利要求书

1.一种薄膜柔性力敏传感器，其特征在于：包括：

上电路膜片，由第一基体膜及第一基体膜表面的金属箔栅构成；

下电路膜片，由第二基体膜及第二基体膜表面的导电膜构成；

绝缘支撑架，位于上电路膜片和下电路膜片之间，将上、下电路膜片撑开，使上、下电路膜片具有一定的间隔。

2.根据权利要求1所述的薄膜柔性力敏传感器，其特征在于：所述金属箔栅的图案包括圆形的指纹电路和两条对称的引出线，其中，所述指纹电路由第一螺旋状箔栅和第二螺旋状箔栅相互嵌套而成。

3.根据权利要求2所述的薄膜柔性力敏传感器，其特征在于：所述第一螺旋箔栅栅条宽度和第二螺旋箔栅的栅条宽度相同，且相邻两栅条之间的间隔是栅条宽度的0.5-3倍。

4.根据权利要求3所述的薄膜柔性力敏传感器，其特征在于：相邻两栅条之间的间隔与栅条宽度相当，均为0.09mm。

5.根据权利要求2-4任一项所述的薄膜柔性力敏传感器，其特征在于：所述指纹电路的两条螺旋箔栅分别由外端引出对称的引出线。

6.根据权利要2所述的薄膜柔性力敏传感器，其特征在于：所述下电路膜片的导电膜呈圆形，与圆形的指纹电路相对应。

7.根据权利要求1所述的薄膜柔性力敏传感器，其特征在于：所述导电膜为石墨烯和碳纳米管的复合膜，优选地，导电膜中所含石墨烯和碳纳米管的量为0.9-17wt％，石墨烯和碳纳米管的质量比为(2-5)：2；进一步优选地，导电膜中所含石墨烯和碳纳米管的量为1.7wt％，石墨烯和碳纳米管的质量比为3：2。

8.根据权利要求2所述的薄膜柔性力敏传感器，其特征在于：所述绝缘支撑架为环状的PET双面胶，与指纹电路和导电膜的边缘连接，使指纹电路和导电膜之间构成密闭的空间；优选地，所述PET双面胶厚度为0.05-0.2mm，优选0.075mm。

9.根据权利要求1所述的薄膜柔性力敏传感器，其特征在于：所述第一基体膜和第二基体膜均采用PI膜，厚度为0.5-5mil，其中，第一基体膜的厚度优选1mil，第二基体膜的厚度优选3mil。

10.根据权利要求1所述的薄膜柔性力敏传感器，其特征在于：所述金属箔栅采用压延铜箔；

和/或，所述上电路膜片采用FPC技术设计制作而成。

11.根据权利要求1所述的薄膜柔性力敏传感器，其特征在于：所述薄膜柔性力敏传感器还设有背膜，用于与外部基体粘结。

12.一种薄膜开关，包括权利要求1-11任一项所述薄膜柔性力敏传感器。