[发明专利]光伏电池制造用清洗机

说明书

技术领域

本发明涉及光伏电池制造技术领域，更具体地说，涉及一种光伏电池制造用清洗机。

背景技术

在光伏电池制造过程中，扩散工艺和LPCVD(低压化学气相沉积法，Low-pressure Chemical Vapor Deposition)工艺都会需要石英舟装载硅片。

在扩散的过程中，石英舟表面会沉积杂质薄膜；在LPCVD工艺中，石英舟、炉管、挡板以及特气导流管表面都会沉积杂质薄膜。当杂质薄膜达到一定厚度就会对光伏电池制造工艺产生影响，降低电池片的效率。因此，要经常清洗炉管、挡板、特气导流管、石英舟以及扩散炉的尾气管，而且需要特别配液才能够清洗。

现有的清洗机，采用同一个清洗槽进行药液清洗和水清洗，则药液清洗一次后需要排放掉，并在该清洗槽内补入水，进行水清洗，这样导致药液的利用率较低，清洗成本较高。

另外，清洗扩散使用的石英舟和清洗LPCVD工艺使用的石英舟所需药液不同，现有的清洗机功能单一，只能配置一种药液，即只能清洗扩散使用的石英舟或LPCVD工艺使用的石英舟，无法满足多样化清洗需求，导致通用性较差；现有的清洗机的自动化程度也较低。

综上所述，如何提高药液的利用率，以降低清洗成本，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种光伏电池制造用清洗机，提高药液的利用率，以降低清洗成本。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种光伏电池制造用清洗机，包括：

用于采用药液清洗待清洗件的药液清洗器；

用于采用水清洗待清洗件的水清洗器；

其中，所述药液清洗器具有药液清洗槽，所述药液清洗槽设有第一排放口和第一补液口；所述水清洗器具有水清洗槽和位于所述水清洗槽内的喷淋部件，所述水清洗槽设有第二排放口和第二补液口。

优选地，所述药液清洗器还包括：与所述第一补液口连通的第一补液管，串接于所述第一补液管上的第一阀门；与所述第一排放口连通的第一排放管，串接于所述第一排放管上的第二阀门；

所述水清洗器还包括：与所述第二补液口连通的第二补液管，串接于所述第二补液管上的第三阀门；与所述第二排放口连通的第二排放管，串接于所述第二排放管上的第四阀门；

其中，所述第一补液管至少为两个，且所述第一补液口和所述第一阀门均与所述第一补液管一一对应；所述第二补液管至少为两个，且所述第二补液口和所述第二阀门均与所述第二补液管一一对应。

优选地，所述光伏电池制造用清洗机还包括：第一控制器和人机交互界面模块；

其中，所述人机交互界面模块包括：

第一设定单元，用于设定任意一个所述第一阀门的开闭时间；

第二设定单元，用于设定任意一个所述第二阀门的开闭时间；

第三设定单元，用于设定任意一个所述第三阀门的开闭时间；

第四设定单元，用于设定任意一个所述第四阀门的开闭时间；

第五设定单元，用于设定所述喷淋部件的喷淋时间；

所述第一控制器包括：

第一控制单元，用于根据所述第一阀门的开闭时间控制所述第一阀门的开闭；

第二控制单元，用于根据所述第二阀门的开闭时间控制所述第二阀门的开闭；

第三控制单元，用于根据所述第三阀门的开闭时间控制所述第三阀门的开闭；

第四控制单元，用于根据所述第四阀门的开闭时间控制所述第四阀门的开闭；

第五控制单元，用于根据所述喷淋部件的喷淋时间控制所述喷淋部件的启停。

优选地，所述第一补液管为四个，分别为硝酸补液管、氢氟酸补液管、盐酸补液管和纯水补液管。

优选地，所述喷淋部件为喷淋管，且所述喷淋管上的至少两个喷嘴的喷射角度不同。

优选地，所述药液清洗槽的顶部和所述水清洗槽的顶部均设有溢流孔。

优选地，所述光伏电池制造用清洗机还包括：

位于所述药液清洗槽和所述水清洗槽之间的挡板，所述挡板与所述药液清洗槽和所述水清洗槽密封相连且形成容纳槽；

与所述容纳槽连通的溢流排放管；

其中，所述溢流孔位于所述挡板的顶部，且所述溢流孔与所述容纳槽连通。

优选地，所述药液清洗槽和所述水清洗槽均设有鼓泡气孔。

优选地，所述光伏电池制造用清洗机还包括用于烘干所述待清洗件的烘干器。