[发明专利]一种显示面板、显示面板的制造方法和显示装置有效
| 申请号: | 201710470232.7 | 申请日: | 2017-06-20 |
| 公开(公告)号: | CN107390406B | 公开(公告)日: | 2019-06-18 |
| 发明(设计)人: | 卓恩宗 | 申请(专利权)人: | 惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司 |
| 主分类号: | G02F1/133 | 分类号: | G02F1/133;G02F1/1362;H01L29/786;H01L31/105 |
| 代理公司: | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人: | 邢涛 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市石岩街道水田村民营*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 显示 面板 制造 方法 显示装置 | ||
1.一种显示面板,其特征在于,包括:
基板,
开关组件,设置在所述基板上;所述开关组件包括栅极金属层、栅极绝缘层、铟镓锌氧化物层、刻蚀阻挡层,以及位于同一层的源极金属层和漏极金属层;
光感测元件,所述光感测元件设置于所述开关组件一侧;
所述开关组件还包括刻蚀阻挡层;所述刻蚀阻挡层设置在铟镓锌氧化物层上;所述光感测元件设置在所述刻蚀阻挡层的延伸部上;
所述刻蚀阻挡层的延伸部上设置有光感金属层,所述光感测元件设置在所述光感金属层上;
所述光感测元件上设置有透明导电层。
2.如权利要求1所述的显示面板,其特征在于:所述基板包括玻璃基板。
3.如权利要求1所述的显示面板,其特征在于:所述光感测元件从光感金属层起包括P型半导体层、本征半导体层和N型半导体层。
4.如权利要求3所述的显示面板,其特征在于:所述开关组件和光感测元件上覆盖有钝化层。
5.如权利要求4所述的显示面板,其特征在于:所述钝化层上分别对应开关组件和光感测元件设置有透明导电层。
6.如权利要求3所述的显示面板,其特征在于:所述光感金属层与源极金属层、漏极金属层位于同一层。
7.一种显示面板的制造方法,其特征在于,包括步骤:
在基板上形成栅极金属层和栅极绝缘层;
在栅极绝缘层上形成铟镓锌氧化物层;
在栅极绝缘层和铟镓锌氧化物层上形成刻蚀阻挡层;
在刻蚀阻挡层上形成源极金属层和漏极金属层,并在蚀刻阻挡层的延伸部上形成光感金属层;
在光感金属层上形成P型半导体层、本征半导体层和N型半导体层;
对应刻蚀阻挡层,在源极金属层、漏极金属层和光感测元件上覆盖钝化层;
在钝化层上分别对应漏极金属层和光感测元件设置透明导电层。
8.一种显示装置,其特征在于,包括:
驱动装置;以及
如权利要求1-6任意一项所述的显示面板。
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