[发明专利]制绒槽内硅片输送装置

权利要求书

1.一种制绒槽内硅片输送装置，所述制绒槽(1)内具有用于盛放硅片(5)制绒药液的腔体(1-1)，其特征在于：该输送装置包括若干下转轴(2)，若干所述下转轴(2)转动设置在制绒槽(1)内，若干所述下转轴(2)相互平行且间隔设置，所述下转轴(2)上同轴固定有下滚轮(2-1)；

所述制绒槽(1)内位于下转轴(2)的上方转动设置有上转轴(3)，所述上转轴(3)上套设有若干上压滚轮(3-1)，所述上压滚轮(3-1)具有轴孔(3-11)，所述上转轴(3)穿过轴孔(3-11)，所述轴孔(3-11)的直径大于上转轴(3)的直径；

所述上转轴(3)的端部固定有上齿轮(3-2)，所述下转轴(2)的端部固定有下齿轮(2-2)，所述上齿轮(3-2)与下齿轮(2-2)啮合。

2.根据权利要求1所述的制绒槽内硅片输送装置，其特征在于：所述上转轴(3)上位于上压滚轮(3-1)的两端均设置有轴向挡环(4)，所述上压滚轮(3-1)的端部与其所在侧的轴向挡环(4)之间具有间隙。