[发明专利]一种高低温双体真空热压烧结炉

权利要求书

1.一种高低温双体真空热压烧结炉，其特征在于：含有不同加热温区的两个炉体，分别为高温区烧结炉（1）和低温区烧结炉（2）；两个炉子共用一套控制系统(3)、一套液压-水冷系统(4)和一套真空系统(5)，其中连接的管道与真空系统外缘均有法兰接口（7），通过密封法兰依次固定连接；两个炉对应设计两套变压系统；所述真空系统(5)的管路上设有三通管道；所述三通管道的其中两支分别与高温区烧结炉（1）和低温区烧结炉（2）相连；所述高温区烧结炉（1）分为高温区烧结炉炉盖（11）和高温区烧结炉炉体（12）；所述高温区烧结炉炉盖（11）上设有炉盖进水口（11-1）、炉盖出水口（11-2）、炉盖测温电偶（11-3）以及和真空系统(5)相连通的管道（11-4）；所述高温区烧结炉炉体（12）上设有炉体进水口（12-1）、炉体出水口（12-2）、炉体测温电偶（12-3）和炉腔观察口（12-4）；所述低温区烧结炉（2）分为低温区烧结炉炉盖（21）和低温区烧结炉炉体（22）；所述低温区烧结炉炉盖（21）上设有低温区烧结炉炉盖进水口（21-1）、低温区烧结炉炉盖出水口（21-2）、低温区烧结炉炉盖测温电偶（21-3）以及和真空系统(5)的相连通的第一管道（21-4）；所述低温区烧结炉炉体（22）上设有低温区烧结炉炉体进水口（22-1）、低温区烧结炉炉体出水口（22-2）、低温区烧结炉炉体测温电偶（22-3）和低温区烧结炉炉腔观察口（22-4）；

水冷系统由进冷水机、冷却水分流阀、冷却水回流阀、水管、回水管、电接点压力表、阀门、管路组成，控制系统结合冷却水分流阀实现冷却水在两个炉体之间的切换；

真空系统包括扩散泵、机械泵、高真空蝶阀、真空分流阀、真空规管、真空压力表、真空放气阀、真空管路，所述真空系统上预留有充气接口，所述真空系统的真空极限为6.7×10^-3Pa。

2.根据权利要求1所述的高低温双体真空热压烧结炉，其特征在于：高温区烧结炉炉体（12）采用连接成筒状的石墨加热器对其进行加热；所述连接成筒状的石墨加热器对称设置在高温区烧结炉炉体（12）外，其对应的变压系统为高温区烧结变压系统（6）。

3.根据权利要求1所述的高低温双体真空热压烧结炉，其特征在于：低温区烧结炉炉体（22），采用镍铬电阻带加热器对其进行加热；所述镍铬电阻带加热器对称分布在低温区烧结炉炉体（22）外；所述低温区烧结炉炉体（22）对应的变压系统为低温区烧结变压系统（8）。

4.根据权利要求1所述的高低温双体真空热压烧结炉，其特征在于：高温区烧结炉炉体（12）和低温区烧结炉炉体（22）的炉体采用双层圆筒结构，内、外壁均为304不锈钢且经精密抛光处理；内外壁之间通水冷却，使用时炉外壁的温度低于60℃；高温区烧结炉炉体（12）和低温区烧结炉炉体（22）的炉体均为立式进、出料。

5.根据权利要求1所述的高低温双体真空热压烧结炉，其特征在于：高温区烧结炉炉体（12）和低温区烧结炉炉体（22）的所用炉盖采用双层水冷结构，内、外壁均为304且经精密抛光处理，内外壁之间通水冷却，炉盖上设有观察窗、真空压力表、放气阀；炉盖与炉体通过铰链连接。

6.根据权利要求1所述的高低温双体真空热压烧结炉，其特征在于：高温区烧结炉炉盖进水口（11-1）的个数为n、炉盖出水口（11-2）的个数为n；炉体进水口（12-1）的个数为p、炉体出水口（12-2）的个数为p；低温区烧结炉炉盖进水口（21-1）的个数为q、低温区烧结炉炉盖出水口（21-2）的个数为q；低温区烧结炉炉体进水口（22-1）的个数为i、低温区烧结炉炉体出水口（22-2）的个数为i；所述n、p、q、i为大于等于2的整数。

7.根据权利要求1所述的高低温双体真空热压烧结炉，其特征在于：炉体内控制系统(3)包括温度控制系统；所述温度控制系统通过数显温度程序控制仪根据用户设定的工艺曲线，实行自动控制温度；同时所述温度控制系统具有PID自整定功能。

8.根据权利要求1所述的高低温双体真空热压烧结炉，其特征在于：炉体内控制系统(3)包括温度控制系统；炉体中部安装主测温电偶，炉盖安装副测温电偶，多电偶测温可以实现炉温的显示。