[发明专利]一种环保型金属去除液

说明书

技术领域

本发明涉及一种环保型金属去除液，属于微电子化学试剂技术领域。

背景技术

本发明是一种环保型金属去除液，所要解决的技术问题是针对微电子行业现有技术提供一种金属去除液，能够有效去除不锈钢基板与金膜之间的铝、镍、铬等金属层，使得金膜易于被回收，同时对不锈钢和金膜无影响。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是针对上述现有技术提供一种脱金液，能够有效去除不锈钢基板与金膜之间的铝、镍、铬等金属层，而对于不锈钢、金膜无影响，使得金材料易于回收。

本发明解决上述问题所采用的技术方案为：一种环保型金属去除液，包括如下质量百分比的成分

醋酸40～65%，

硝酸10～30%，

表面活性剂1～2%，

缓蚀剂0.1～2%，

光亮剂0.1～1%，

余量为纯水。

优选地，醋酸原料的质量百分比浓度为90～99.8%、硝酸原料的质量百分比浓度为60～67%。

优选地，表面活性剂选自非离子型表面活性剂和阴离子型表面活性剂复配混合物。其中，非离子表面活性剂为辛基酚聚氧乙烯醚。阴离子表面活性剂为烷基芳基醚聚合物、聚乙二醇辛基苯基醚中的一种或两种。

优选地，缓蚀剂选自九水合硝酸铝、硝酸银、硫酸铁，并按照一定的质量比混配。该缓蚀剂可有效保护金膜不致于腐蚀的情况下，有效侧蚀铝、镍、铬等金属，从而逐渐渗透腐蚀形成中空形状致金膜脱落，易回收。

优选地，光亮剂选自五水合硫酸铜，有效保护不锈钢基基板。

与现有技术相比，本发明的优点在于：该脱金液具有环境友好、体系危害性小，稳定性高，使用寿命长，腐蚀金属效果好；在进行有效腐蚀金属的同时，亦不会对不锈钢基材层与金膜层造成腐蚀。

具体实施方式

以下结合实施例对本发明作进一步详细描述。

实施例1

金属去除液成分的重量百分比分别为：

醋酸65%，

硝酸30%，

表面活性剂2%，

缓蚀剂2%，

光亮剂1%，

余量为纯水。

其中醋酸的质量百分比浓度为99.8%、硝酸的质量百分比浓度为65%。表面活性剂包括非离子型表面活性剂和阴离子型表面活性剂复配混合物。非离子表面活性剂为辛基酚聚氧乙烯醚。阴离子表面活性剂为烷基芳基醚聚合物、聚乙二醇辛基苯基醚中的一种或两种。缓蚀剂包括九水合硝酸铝、硝酸银、硫酸铁，并按照一定的质量比混配。光亮剂包括五水合硫酸铜。

实施例2

金属去除液成分的重量百分比分别为：

醋酸40%，

硝酸10%，

表面活性剂1%，

缓蚀剂0.1%，

光亮剂0.1%，

余量为纯水。

其中醋酸的质量百分比浓度为99.8%、硝酸的质量百分比浓度为65%。表面活性剂包括非离子型表面活性剂和阴离子型表面活性剂复配混合物。非离子表面活性剂为辛基酚聚氧乙烯醚。阴离子表面活性剂为烷基芳基醚聚合物、聚乙二醇辛基苯基醚中的一种或两种。缓蚀剂包括九水合硝酸铝、硝酸银、硫酸铁，并按照一定的质量比混配。光亮剂包括五水合硫酸铜。

实施例3

金属去除液成分的重量百分比分别为：

醋酸45%，

硝酸15%，

表面活性剂1%，

缓蚀剂1%，

光亮剂1%，

余量为纯水。

其中醋酸的质量百分比浓度为99.8%、硝酸的质量百分比浓度为65%。表面活性剂包括非离子型表面活性剂和阴离子型表面活性剂复配混合物。非离子表面活性剂为辛基酚聚氧乙烯醚。阴离子表面活性剂为烷基芳基醚聚合物、聚乙二醇辛基苯基醚中的一种或两种。缓蚀剂包括九水合硝酸铝、硝酸银、硫酸铁，并按照一定的质量比混配。光亮剂包括五水合硫酸铜。

除上述实施例外，本发明还包括有其他实施方式，凡采用等同变换或者等效替换方式形成的技术方案，均应落入本发明权利要求的保护范围之内。