[发明专利]一种平板显示使用的显影液组合物

说明书

技术领域

本发明属于平板显示领域，特别涉及一种LCD、TP生产中使用的显影液组合物。

背景技术

光刻技术作为平板显示产业的关键技术之一，在LCD、TP生产工艺中被广泛应用。LCD、TP生产工艺中，为获得所需要的精细线路，需要通过光刻技术，将光刻胶涂布在基板上形成薄膜后经UV选择性曝光，再以碱性显影液显影，去除未曝光部分，得到所需的线路。

一般光刻胶由酚醛树脂，丙烯酸树脂、聚对羟基苯乙烯树脂等碱溶性树脂和光敏剂组成。光刻胶经紫外光照射后，改变其在碱性溶液中的溶解度，从而可用碱性显影液进行显影。常用的显影技术包括浸渍显影，摇动显影、喷淋显影、静置显影等，其中喷淋显影是目前显影工艺中的主流技术。

然而，在目前的显影工艺中，光刻胶经涂膜前烘曝光后，由于光刻胶中含有碱溶性基团，因此可用碱性显影液去除不需要的胶膜。这些碱溶性基团被显影液中和，形成水溶性聚合物盐。随着显影过程中碱溶性成分的不断溶解，显影液中水溶性聚合物盐的浓度不但增大，最后出现不溶物，出现残渣沉积。这些残渣沉积物容易附着在图形上，导致所需的线路出现残缺。

为了改善上述缺点，公开的专利文献中添加了非离子表面活性剂降低不溶物的方法，很大程度的改善了残渣沉积的现象，同时，通过添加表面活性剂增加了显影速率，提高了生产效率。如：

CN1928724A公开的光阻显影液含有碱性化合物、非离子性表面活性剂和溶剂，非离子性表面活性剂为聚氧乙烯苯基醚；

CN101359189A公开的正性光敏聚酰亚胺光刻胶用显影液，包括强碱性化合物、水溶性酰胺类化合物、非离子表面活性剂、水溶性醇或醇醚类化合物和余量的水；

CN101566804A公开的平板显示用显影液，包括季胺碱、非离子表面活性剂和去离子水，非离子表面活性剂为失水山梨醇单月桂酸酯、聚氧乙烯失水山梨醇单月桂酸酯或失水山梨醇单油酸酸酯；

CN102540771A公开的正性光刻胶用显影液，包括碱性物质、水、表面活性剂和蛋白水解酶；

CN102722092A公开的用于光聚合型平版印刷版的显影液，由碱性化合物、缓冲体系、表面活性剂以及溶剂组成，表面活性剂为阴离子表面活性剂、两性表面活性剂和非离子表面活性剂组成的复合表面活性体系；

CN103293881A公开的显影液组成物，包括无机酸或有机酸，表面活性剂，有机溶剂，水以及添加剂；

CN103728845A公开的平板显示用显影液组合物，包括有机胺类化合物、非离子表面活性剂、有机溶剂和水；

CN106227003A公开的显影液由有机碱，非离子表面活性剂，两性表面活性剂，有机溶剂和水组成。

然而，非离子表面活性剂与碱性化合物尤其是无机碱化合物溶液混合，导致其浊点降低，出现分层现象，影响其使用性。同时，因为非离子表面活性剂的加入，在显影工艺过程，尤其是喷淋时容易产生大量泡沫，泡沫会影响显影液与光刻胶的接触，导致显影不完全，影响线路的完整性。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的缺点与不足，提供一种具有低气泡，高浊点等优异性能的LCD、TP生产中使用的显影液组合物。

本发明的显影液组合物含有非离子表面活性剂、碱性化合物、有机溶剂和水，所述非离子表面活性剂的结构式为：

式中，R₁、R₂、R₃分别选自-H、苄基、苯乙基、枯基或苯乙烯基，且R₁、R₂、R₃中至多2个同时选自-H，n=5—18。

非离子表面活性剂优选是二苄基酚聚氧乙烯醚、三苄基酚聚氧乙烯醚、二枯基苯酚聚氧乙烯醚、二苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚或三苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚。

所述碱性化合物为碱金属的氢氧化物、碳酸盐、碳酸氢盐、磷酸盐、苯甲酸盐、硼酸盐中的至少一种，优选是碱金属的氢氧化物、碳酸盐、苯甲酸盐中的至少一种，更优选是NaOH、Na₂CO₃、苯甲酸钠中的至少一种。

所述有机溶剂为2-乙基己醇、异辛醇、异戊醇或磷酸三丁酯。

所述显影液以质量百分比计，配比为：非离子表面活性剂1—5%、碱性化合物1—15%、有机溶剂0.01—1%，余量为水。优选是：非离子表面活性剂1.5—3.5%，碱性化合物3.5—7.5%，有机溶剂0.03—0.06%，余量为水。

本发明的优点和效果：有效降低气泡的产生及显影产生的残渣，且在温度较高时性能稳定。