[发明专利]一种新型酸性蚀刻液资源回收利用方法及回收利用系统

权利要求书

1.一种新型酸性蚀刻液资源回收利用方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)将待处理的酸性蚀刻废液收集至蚀刻液收集槽中；

2)将蚀刻液收集槽中的酸性蚀刻液加入反应槽，再加入硫酸，反应后形成高酸含铜溶液，

3)将高酸含铜溶液放入扩散渗析槽内，在扩散渗析槽内用扩散渗析法将高酸含铜溶液分离，得高浓度盐酸溶液和硫酸铜与少量氯化铜的混合溶液；

4)将所述盐酸收集并返回至蚀刻产线进行再利用，将硫酸铜与少量氯化铜的混合溶液经冷冻结晶分离得五水硫酸铜粗产品和氯化铜溶液；

5)将所述五水硫酸铜粗产品再经重结晶提纯得高品质的五水硫酸铜。

2.一种酸性蚀刻液资源回收利用系统，其特征在于，包括用于收集蚀刻生产线的酸性蚀刻液的蚀刻液收集槽、用于加入硫酸与酸性蚀刻液反应的反应槽、扩散渗析槽、结晶槽和重结晶槽；

所述蚀刻液收集槽的酸性蚀刻液输出端与所述反应槽的入口连通，所述蚀刻液收集槽中的酸性蚀刻液输入所述反应槽中，与加入的硫酸反应形成高酸含铜溶液；

所述反应槽的高酸含铜溶液输出端与所述扩散渗析槽的入口连通，所述反应槽内形成的高酸含铜溶液输入所述扩散渗析槽中，经扩散渗析法将所述高酸含铜溶液分离，得高浓度盐酸溶液和硫酸铜与氯化铜的混合溶液；

所述扩散渗析槽的第一输出端与一盐酸收集槽连通，将所述扩散渗析槽分离出的所述盐酸溶液输出至所述盐酸收集槽中，所述盐酸收集槽的输出端与蚀刻生产线连通；

所述扩散渗析槽的第二输出端将所述扩散渗析槽分离出的硫酸铜与氯化铜的混合溶液输入所述结晶槽中，冷冻结晶分离得五水硫酸铜粗产品和氯化铜溶液；

所述重结晶槽用于对所述五水硫酸铜粗产品进行重结晶提纯，得高品质的五水硫酸铜。

3.根据权利要求2所述的酸性蚀刻液资源回收利用系统，其特征在于，还包括用于储存所述硫酸铜与氯化铜的混合溶液的含铜溶液储存槽，所述含铜溶液储存槽连通在所述扩散渗析槽与所述结晶槽之间，所述扩散渗析槽的第二输出端与所述含铜溶液储存槽连通，所述含铜溶液储存槽的输出端与所述结晶槽连通，所述扩散渗析槽的第二输出端将所述硫酸铜与氯化铜的混合溶液输入所述含铜溶液储存槽中，所述含铜溶液储存槽再将所述硫酸铜与氯化铜的混合溶液输入所述结晶槽内。

4.根据权利要求2所述的酸性蚀刻液资源回收利用系统，其特征在于，所述重结晶槽设置在所述结晶槽的下方，所述结晶槽的结晶体输出端与所述重结晶槽连通，将所述五水硫酸铜粗产品输入所述重结晶槽中。