[发明专利]一种压电晶体的制造方法

权利要求书

1.一种压电晶体的制造方法，其特征在于:使用泡生法来生长压电晶体，晶锭可掏出2～6英寸任意轴向的晶棒,所述泡生法是在长晶过程进入等径段时，采用停止向上提拉或微提拉的方式让晶体自然生长，所述提拉速度<0.1mm/h，同时晶体不旋转，所述长晶过程中，晶体顶端位置不高于坩埚口。

2.根据权利要求1所述压电晶体的制造方法，其特征在于: 压电晶体长晶的具体步骤如下，

（1）热场组装：依次安装热场，同时在铱坩埚内填入适量压电晶体原料；

（2）加热融化：采用电阻加热方式，对铱坩埚进行加热，在12～15小时时加热坩埚内温度到1260℃以上，压电晶体原料融化为熔汤；

（3）引晶：调整主加热器输出功率，液面温度在1260℃～1660℃，形成稳定的热对流，保持恒定加热输出功率5小时以上，使熔汤处于热稳定状态，从对流中心正上方放入籽晶，使籽晶和液面接触，微调整感应加热输出功率在10～100W，使浸入液面的籽晶重量变化不超过0.3～0.5g/h；

（4）放肩：以0.1mm/h的速度缓慢提拉籽晶，以20～100W/h的速率降低主加热输出功率，晶体重量均匀增加；（5）自动生长：当晶体每小时的重量均匀增加后，以10～50W/h的速率降低主加热输出功率，进入程序自动控制阶段；

（6）切离：晶体重量达到设定目标后，以10mm/min的速度，提拉籽晶15～30mm，晶体头部不超过坩埚口，维持加热器输出功率1～2h，然后以25～300W/h的速率降低主加热输出功率；

（7）退火：当热场内温度降低到1200～1350℃时，保持加热输出功率5小时，然后以50～150w/h的速率缓慢降低主和底加热输出功率，实现晶体退火功能；

（8）降温：当热场内温度降低到500℃后，调整感应加热输出功率的下降速率为100～300W/h，直至输出功率为零，再经过24小时的自然降温，然后拆开热场，取出晶体。

3.根据权利要求1所述压电晶体的制造方法，其特征在于:制造的压电晶体为钽酸锂晶体、掺铁钽酸锂晶体或铌酸锂晶体。

4.根据权利要求1所述压电晶体的制造方法，其特征在于:所述热场组装步骤中的热场结构包括外保温层（1）、内保温层（2）、铱环（3）、铱坩埚（4）、主加热器（5）、坩埚台（6）和底部加热器（7）。