[发明专利]一种具有激光防护性能的Ag/VO2复合薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种具有激光防护性能的Ag/VO₂复合薄膜的制备方法，其特征在于该方法包括下述步骤：

1)以金属钒靶作为溅射源，在氩气条件下在洁净石英衬底上溅射100nm厚的金属钒膜，衬底温度保持在200℃；

2)将一端敞口的管式退火炉进行升温，到500℃时进行保温，从炉管的非敞口端通入氮气，氮气流量保持在2L/min；

3)将制备的金属钒膜放入石英坩埚中，之后将坩埚推入上述管式退火炉中进行退火，退火时间为10min，到时后拉出坩埚进行快速空气下冷却，得到所需的VO₂薄膜；

4)以AgNO₃为银源，乙二醇为还原剂，聚乙烯、吡咯烷酮为稳定剂和分散剂，利用化学还原反应得到银纳米线或银纳米颗粒产物，随后将产物离心分离并分散到乙醇中，得到浓度为0.5％的银纳米线或银纳米颗粒分散液；

5)利用旋涂仪将上述银纳米线或银纳米颗粒分散液均匀涂覆于VO₂薄膜表面，具体参数为先进行低速旋涂，速度为400转/分钟，旋涂时间5s，再进行高速旋涂，速度为2000转/分钟，旋涂时间30s；

6)将涂覆有湿银胶膜的VO₂薄膜进行烘干，随后在空气下进行250℃热处理1h定型成膜，即得到所需的Ag/VO₂复合薄膜。