[发明专利]拼接式精细金属掩膜板及其制作方法

权利要求书

1.一种拼接式精细金属掩膜板，其特征在于，包括：

一掩膜框(1)，所述掩膜框(1)包括多个安装分区(11)，每一安装分区(11)设置一个安装槽(12)；

与掩膜框(1)的多个安装分区(11)数量对等的多个子掩膜板(3)，每一个子掩膜板(3)对应安装在一个安装槽(12)内；所述子掩膜板(3)包括子掩膜框(31)、及固定在所述子掩膜框(31)上的子金属掩膜(32)；

于每一安装分区(11)内设在安装槽(12)底面与子掩膜框(31)底面之间的数个独立控制的第一压电体(51)；

以及于每一安装分区(11)内设在安装槽(12)侧面与子掩膜框(31)侧面之间的数个独立控制的第二压电体(52)；

第一压电体(51)与第二压电体(52)在通电状态下受控发生延伸或收缩使得相应的子掩膜板(3)微移动，从而调节各个子掩膜板(3)的水平度与位置精度。

2.如权利要求1所述的拼接式精细金属掩膜板，其特征在于，所述安装槽(12)的纵剖面呈倒“凸”字形。

3.如权利要求1所述的拼接式精细金属掩膜板，其特征在于，所述掩膜框(1)靠近用于承载所述拼接式精细金属掩膜板的承载平台(7)一侧设有分别与第一压电体(51)、及第二压电体(52)对应的第一外接电极(61)、及第二外接电极(62)，所述第一外接电极(61)、及第二外接电极(62)通过设在掩膜框(1)内的电路分别与对应的第一压电体(51)、及第二压电体(52)连接；

所述承载平台(7)具有分别与第一外接电极(61)及第二外接电极(62)对应的多个控制电极(71)，所述多个控制电极(71)均与一电源模块(8)连接，所述承载平台(7)与所述拼接式精细金属掩膜板之间设置弹簧(9)，通过所述拼接式精细金属掩膜板的重力压缩弹簧(9)至设计位置使第一外接电极(61)、第二外接电极(62)分别接通对应的控制电极(71)，从而使电源模块(8)向第一压电体(51)及第二压电体(52)通电控制第一压电体(51)及第二压电体(52)延伸或收缩。

4.如权利要求1至3任一项所述的拼接式精细金属掩膜板，其特征在于，所述多个安装分区(11)呈阵列式排布。

5.如权利要求1所述的拼接式精细金属掩膜板，其特征在于，所述子掩膜框(31)与子金属掩膜(32)通过焊接固定。

6.如权利要求1所述的拼接式精细金属掩膜板，其特征在于，每一子金属掩膜(32)的材料均为因瓦合金。

7.一种拼接式精细金属掩膜板的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤S1、提供掩膜框(1)；

所述掩膜框(1)包括多个安装分区(11)，每一安装分区(11)设置一个安装槽(12)；

步骤S2、于掩膜框(1)的每一安装分区(11)内在安装槽(12)的底面上设置数个独立控制的第一压电体(51)，在安装槽(12)的侧面上设置数个独立控制的第二压电体(52)；

步骤S3、提供与掩膜框(1)的多个安装分区(11)数量对等的多个子掩膜板(3)，所述子掩膜板(3)包括子掩膜框(31)、及固定在所述子掩膜框(31)上的子金属掩膜(32)；将每一子掩膜板(3)安装在对应的安装槽(12)内，使子掩膜框(31)的底面接触第一压电体(51)，侧面接触第二压电体(52)；

步骤S4、使第一压电体(51)与第二压电体(52)通电，通过控制相应的第一压电体(51)与第二压电体(52)发生延伸或收缩使得子掩膜板(3)微移动来调节各个子掩膜板(3)的水平度与位置精度。