[发明专利]工件游星轮及工件游星轮的制造方法

说明书

本发明提供一种工件游星轮及其制造方法，该工件游星轮的游星轮基板与树脂插入部的一体性较高。工件游星轮(10)为，沿着形成在金属制的游星轮基板(1)上的工件保持孔(2)的内周面而设置有树脂插入部(3)的工件游星轮。并且，在工件保持孔(2)内，沿着圆周方向而以交替的方式连续地形成有相对于正反方向的倾斜为相反的正倾斜面(正倾斜部(21))和负倾斜面(负倾斜部(22))，并且在正倾斜面和负倾斜面上以紧贴的方式而形成有树脂插入部(3)。

技术领域

本发明涉及一种在通过研磨装置而对硅晶片、玻璃、陶瓷、水晶等的薄板状的工件进行研磨加工时被使用于工件的保持中的工件游星轮及工件游星轮的制造方法。

背景技术

已知一种在通过研磨装置而对硅晶片等的工件的双面或者单面进行研磨加工时将工件保持在具有工件保持孔的工件游星轮上的技术(例如，参见专利文献1至3)。

由于成为工件游星轮的主体的游星轮基板由SK钢或不锈钢等这样的硬质金属材料而形成，因此若将工件直接地保持于钻设在游星轮基板上的工件保持孔中，则在研磨加工过程中工件将与工件保持孔的内周面接触而可能在工件上产生破裂或缺口等的损伤。

因此，如专利文献1至3所公开的那样，沿着工件保持孔的内周面而安装合成树脂制的柔软的插入部，从而实施防止研磨加工过程中的工件的损伤的处理。

专利文献1中公开了一种咬合结构，所述咬合结构在工件保持孔的内周面上以在圆周方向上隔开间隔的方式而设置有凸齿，并使合成树脂保护环(插入部)的凸齿嵌合在凸齿间的齿槽中。在该文献中还记载有如下结构，即，为使合成树脂保护环在上下方向上不易脱离而在凸齿的侧缘上交替地设置有相反方向的倾斜面。

另一方面，在专利文献2中公开了一种在保持孔的内周面上形成有向上展开的锥面，并经由所述锥面而使树脂插入部嵌入保持孔内的结构。

另外，在专利文献3中记载有如下结构，即，沿着游星轮基板的工件保持孔的内周面设置有槽，并通过以将合成树脂注入槽内的方式而注塑成型，从而设置柔软的环状的插入部。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第3552108号公报

专利文献2：日本专利第4605233号公报

专利文献3：日本专利第5114113号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，专利文献1所公开的咬合结构是仅在凸齿的侧缘设置有倾斜面的结构，而在齿槽的里面侧未设置倾斜面。即，倾斜面并非是在工件保持孔的内周面上连续地设置的结构。

另外，由于专利文献2所公开的保持孔的锥面仅为向上展开的倾斜面，因此虽然能够防止树脂插入部向下方脱落，但是无法防止其向上方偏离。

因此，本发明的目的在于，提供一种游星轮基板与树脂插入部的一体性较高的工件游星轮和工件游星轮的制造方法。

用于解决课题的方法

为了达到上述目的，本发明的工件游星轮为，沿着形成在金属制的游星轮基板上的工件保持孔的内周面而设置有树脂插入部的工件游星轮，其特征在于，在所述工件保持孔内，沿着圆周方向而以交替的方式连续地形成有正倾斜面和负倾斜面，所述正倾斜面和负倾斜面相对于正反方向的倾斜为相反，在所述正倾斜面和负倾斜面上以紧贴的方式而形成有树脂插入部。在此，能够采用如下结构，即，在所述工件保持孔上沿着圆周方向而形成有凹凸，并且在所述凹凸的全部长度上形成有所述正倾斜面或负倾斜面。

此外，也能够采用如下结构，即，在多个凹凸上连续地形成有所述正倾斜面，并且在与之相邻的多个凹凸上连续地形成有所述负倾斜面。