[发明专利]烘烤设备及烘烤方法

权利要求书

1.一种烘烤设备，包括：

一加热板；

一第一导引衬套，围绕该加热板设置；

一第二导引衬套，位于该加热板与该第一导引衬套之间，其中一气流流道定义于该第一导引衬套与该第二导引衬套之间，该气流流道至少部分沿朝向该加热板的一延伸方向延伸，其中该延伸方向平行该加热板的一轴线；以及

一盖体，相对该加热板设置，并位于该第一导引衬套与该第二导引衬套上方，其中一排气口定义于该盖体；

其中，该气流流道包括：

一气流入口；以及

一气流出口，在该加热板的径向方向上，相较该气流入口靠近该加热板；

其中，该气流入口相对该加热板的高度大于该气流出口相对该加热板的高度。

2.如权利要求1所述的烘烤设备，其中该第二导引衬套固定于该第一导引衬套之上，并且该第一导引衬套与该第二导引衬套配置为可平行该延伸方向来回移动。

3.如权利要求1所述的烘烤设备，其中该第二导引衬套固定于该盖体之上，并且该第一导引衬套配置为可平行该延伸方向来回移动。

4.如权利要求1所述的烘烤设备，其中该第一导引衬套包括具有第一内径的环形结构，并且该第二导引衬套包括具有第二内径的环形结构，其中，该第一内径大于该第二内径。

5.如权利要求1所述的烘烤设备，还包括一遮挡板相对该排气口设置，其中该遮挡板遮蔽至少部分该排气口的开口。

6.一种烘烤方法，包括：

放置一基板于一加热板上方；

关闭位于该加热板上的一盖体；

加热该基板；

自位于该加热板外侧的一气流流道引入一气流并通过位于该盖体上的一排气口排除该气流；

放置一第一导引衬套位于该加热板的外侧；以及

放置一第二导引衬套位于该第一导引衬套与该加热板之间；

其中，在该气流通过该气流流道的过程中，该气流流道导引该气流沿朝向该加热板的一延伸方向流动，其中该延伸方向平行该加热板的一轴线；

其中，该气流流道定义于该第一导引衬套与该第二导引衬套之间。

7.如权利要求6所述的烘烤方法，其中该基板加热温度大于摄氏200度，且该气流通过该排气口的流速介于20公升每分钟至30公升每分钟之间。

8.如权利要求6所述的烘烤方法，其中一金属光致抗蚀剂涂布于该基板，且该气流通过该排气口的流速介于70公升每分钟至90公升每分钟之间。