[发明专利]一种复合镀膜装置

说明书

本发明属于镀膜技术领域，提供了一种复合镀膜装置，包括：镀膜装置台，镀膜装置台的侧端设有固定板，镀膜装置台上设有蒸发镀膜机构、溅射镀膜机构以及化学镀膜机构，蒸发镀膜机构位于镀膜装置台中间，溅射镀膜机构位于蒸发镀膜机构左上方，化学镀膜机构位于蒸发镀膜机构左下方。与现有技术相比，本发明的优点在于镀膜装置台上设有蒸发镀膜机构、溅射镀膜机构以及化学镀膜机构这三种镀膜机构，在对工件镀膜时可以根据工件的材质进行不同方式的镀膜，复合镀膜装置简化了镀膜工艺，提供了多种镀膜方式，提高了镀膜的稳定性。

技术领域

本发明属于镀膜技术领域，具体涉及一种复合镀膜装置。

背景技术

汽车零配件ACC功能主要是实现雷达穿透及保护功能，制造加工工艺比较复杂，镀膜是其中一项很关键的环节，镀膜工艺的偏差或不稳定性都可能影响雷达穿透功能。对应以上问题，现在传统镀膜工艺特别复杂，且镀膜的稳定性差，这就很可能会影响到雷达穿透以及保护的效果，所以需要开发一种工艺简单，稳定性高的镀膜装置。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是针对现有技术的现状，而提供一种复合镀膜装置。

本发明解决上述技术问题所采用的技术方案为：提出一种复合镀膜装置，包括镀膜装置台，所述镀膜装置台的侧端设有固定板，镀膜装置台上设有蒸发镀膜机构、溅射镀膜机构以及化学镀膜机构，所述蒸发镀膜机构位于镀膜装置台中间，所述溅射镀膜机构位于蒸发镀膜机构左上方，所述化学镀膜机构位于蒸发镀膜机构左下方。

在上述的一种复合镀膜机构中，所述蒸发镀膜机构具有第一真空罩体，所述真空第一罩体下端开设有第一真空系统，所述第一真空罩体内下端固设有支撑架，所述支撑架上架设有坩埚，所述第一真空罩体内上端设有第一连接杆，所述第一连接杆下端设有连接板，所述连接板下侧固定有第一基片，且所述第一基片位于坩埚上方。

在上述的一种复合镀膜机构中，所述溅射镀膜具有第二真空罩体，所述第二真空罩体下端开设有第二真空系统以及氩气入口，所述第二真空罩体的内下端设有接地阳极块，所述接地阳极的上侧设有第二基片，所述第二真空罩体内上端设有阴极块，所述阴极块的下侧设有靶块。

在上述的一种复合镀膜机构中，所述化学镀膜机构具有真空泵，所述真空泵的上端设有第三真空罩，所述第三真空罩的内下端设有阴极处理台，所述第三真空罩外侧设有电炉，所述第三真空罩的上端设有混合气管道，所述混合气管道的一端设有氩气输送单元、氮气输送单元以及气化单元，所述气化单元包括氢气输送单元以及气化器，所述氢气输送单元的输出端与气化器连接，所述气化器的输出端与混合气管道相连。

与现有技术相比，本发明的优点在于该复合镀膜装置简化了镀膜工艺，提供了多种镀膜方式，提高了镀膜的稳定性。

附图说明

图1是本复合镀膜装置的简化结构示意图；

图2是蒸发镀膜机构的结构示意图；

图3是溅射镀膜机构的解构示意图；

图4是化学镀膜机构的结构示意图。

图中，镀膜装置台1、蒸发镀膜机构2、溅射镀膜机构3、化学镀膜机构4、第一真空罩体5、第一真空系统6、支撑架7、坩埚8、第一连接杆9、连接板10、第一基片11、第二真空罩体12、第二真空系统13、氩气入口14、接地阳极块15、第二基片16、阴极块17、靶块18、真空泵19、第三真空罩20、阴极处理台21、电炉22、混合气管道23、氩气输送单元24、氮气输送单元25、气化单元26、氢气输送单元27、气化器28、固定板29。

具体实施方式

以下是本发明的具体实施例并结合附图，对本发明的技术方案作进一步的描述，但本发明并不限于这些实施例。