[发明专利]一种集成电路清洁毛刷

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路领域，特别是一种集成电路清洁毛刷。

背景技术

为集成电路元器件的载体，半导体基板在原初状态下的性能愈发的引起了行业的关注。研究表明，半导体基板遍历尽可能多的必要加工工艺对基板产品整体良率的提高有很大的促进作用，根据产品的需要，这些可能的加工工艺包括但不限于刻蚀、显影、涂胶以及研磨等工艺。由于各个工艺之间相对独立，每一工艺步骤中所使用的化学药剂也不尽相同，所以半导体基板通常每完成一道或几道工序之后，对基板进行清洗处理的工作不可或缺。这也是为什么半导体行业对清洁机台的需求异常旺盛的原因。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种集成电路清洁毛刷。为实现上述目的本发明采用以下技术方案：

一种集成电路清洁毛刷，包括橡胶吹气球、套把、导气管、集尘瓶、扇叶、过滤网、毛刷、吸尘管、套筒、防静电胶套，橡胶吹气球出气口连接导气管，导气管出气口对应扇叶，套把黏贴安装在橡胶吹气球一侧，集尘瓶螺钉安装在扇叶上端，过滤网螺钉安装在套筒下端，毛刷安装在套筒底端外径上，吸尘管安装在套筒底端内径上，防静电胶套套装在套筒外壁。

优选的，所述扇叶由旋转中轴和扇片组成，旋转中轴杆体上胶接有扇片。

优选的，所述集尘瓶螺纹安装在套筒内径，可单独拆装。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：一种集成电路清洁毛刷，毛刷安装在套筒底端外径上，用于梳理集成电路板的灰尘，吸尘管安装在套筒底端内径上，挤压橡胶吹气球，橡胶吹气球通过导气管带动扇叶，扇叶旋转带动空气对流，将灰尘吸入集尘瓶内部，过滤网过滤杂质，防静电胶套具有很好的防静电功能。

附图说明

图1为本发明集成电路清洁毛刷的结构示意图。

图2为本发明扇叶的结构示意图。

图3为本发明毛刷和吸尘管底部安装结构示意图。

图中：1、橡胶吹气球，2、套把，3、导气管，4、集尘瓶，5、扇叶，6、过滤网，7、毛刷，8、吸尘管，9、套筒，10、防静电胶套，11、旋转中轴，12、扇片。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步详细阐述。

如图1、图2和图3所示，一种集成电路清洁毛刷，包括橡胶吹气球1、套把2、导气管3、集尘瓶4、扇叶5、过滤网6、毛刷7、吸尘管8、套筒9、防静电胶套10，橡胶吹气球1出气口连接导气管3，导气管3出气口对应扇叶5，套把2黏贴安装在橡胶吹气球1一侧，集尘瓶4螺钉安装在扇叶5上端，过滤网6螺钉安装在套筒9下端，毛刷7安装在套筒9底端外径上，吸尘管8安装在套筒9底端内径上，防静电胶套10套装在套筒9外壁。

所述扇叶5由旋转中轴11和扇片12组成，旋转中轴11杆体上胶接有扇片12。

所述集尘瓶4螺纹安装在套筒9内径，可单独拆装。

本发明工作原理：一种集成电路清洁毛刷，毛刷安装在套筒底端外径上，用于梳理集成电路板的灰尘，吸尘管安装在套筒底端内径上，挤压橡胶吹气球，橡胶吹气球通过导气管带动扇叶，扇叶旋转带动空气对流，将灰尘吸入集尘瓶内部，过滤网过滤杂质，防静电胶套具有很好的防静电功能。集尘瓶螺纹安装在套筒内径，可单独拆装，方便清理。

以上所述为本发明较佳实施例，对于本领域的普通技术人员而言，根据本发明的教导，在不脱离本发明的原理与精神的情况下，对实施方式所进行的改变、修改、替换和变型仍落入本发明的保护范围之内。