[发明专利]ITO蒸镀靶的制备方法

权利要求书

1.一种ITO蒸镀靶的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

1)对氧化铟微米粉末和氧化锡纳米粉末进行热处理，热处理温度800～1000℃，热处理时间2～8小时；

2)将热处理后的氧化铟微米粉末和氧化锡纳米粉末按质量比9:1混合，在乙醇介质里进行球磨粉碎和混合，球磨时间8～16小时，再掺入添加剂，继续混合4～24小时，使有机物均匀包覆粉体，其中添加剂包括粘接剂、润滑剂和分散剂；

3)将步骤2)处理的掺脂ITO粉，进行恒温恒湿干燥，干燥的相对湿度控制在30～90％，干燥时间为50～70小时，干燥温度为30～50℃；

4)将干燥后的造粒ITO粉放入金属模具中预压成型，压力为60～140MPa，再进行冷等静压压制，压力为200～350MPa，得到素坯；

5)素坯进行脱脂，脱脂温度为400～600℃，脱脂时间为4～12小时，得到成型体；

6)成型体进行烧结即制得ITO靶材，烧结温度1000～1300℃，其中在1000～1100℃时保温3～8小时，此时为氧气气氛，压强控制在0.4～1.5atm，然后升温至1200～1300℃继续烧结，保温0.5～3小时，此时烧结气氛为氧气气氛，压强控制在1.0～2.5atm；第二次保温结束后保持压强不变的情况下置换为氮气，然后水冷降温即可。

2.根据权利要求1所述的ITO蒸镀靶的制备方法，其特征在于，所述步骤1)中氧化锡粉末粒度为10～20nm。

3.根据权利要求1所述的ITO蒸镀靶的制备方法，其特征在于，所述步骤2)中的粘接剂为聚乙烯醇、丙烯系聚合物或丙烯酸乳液。

4.根据权利要求1所述的ITO蒸镀靶的制备方法，其特征在于，所述步骤2)中的润滑剂为单甘酯。

5.根据权利要求1所述的ITO蒸镀靶的制备方法，其特征在于，所述所述步骤2)中的分散剂为重量比为1:1～2的柠檬酸和聚乙二醇的混合物。