[发明专利]抛光设备及其抛光方法

说明书

技术领域

本发明涉及精密加工技术领域，特别是涉及一种抛光设备及抛光设备的抛光方法。

背景技术

相关技术中，针对高硬度材料如CVD金刚石，采用金刚石砂轮抛光或者传统的单面抛光设备。然而，上述方案存在一定的不足：一次只能抛光一个平面，由于材料(例如金刚石等)硬度高，耗材消耗量大，且抛光时间长，生产效率低。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种抛光设备，所述抛光设备的抛光效率提高，成本降低。

本发明还提出一种抛光设备的抛光方法。

根据本发明第一方面实施例的抛光设备，包括：上抛光头和下抛光头，所述上抛光头和所述下抛光头相对布置，所述上抛光头和所述下抛光头相对可移动以抛光，所述上抛光头的下表面和所述下抛光头的上表面均具有用于放置待抛光物的待抛光物放置区；用于向待抛光物的待抛光面放入抛光液的抛光液输送装置，所述抛光液输送装置的出口连通所述上抛光头和所述下抛光头之间的空间。

根据本发明实施例的抛光设备，通过使上抛光头相对下抛光头移动可以同时抛光两个待抛光面，并且通过抛光液输送装置可以向上抛光头和下抛光头之间的空间输送抛光液，这样有利于提高抛光效率，降低成本。

另外，根据本发明上述实施例的抛光设备还具有如下附加的技术特征：

进一步地，所述抛光液输送装置的出口延伸至所述上抛光头的下表面，且所述抛光液输送装置的出口包括与所述上抛光头上的待抛光区域错开的一个或多个。

进一步地，所述抛光液输送装置的出口包括关于所述待抛光区域对称布置的两个。

优选地，所述下抛光头与所述上抛光头的直径比不小于2:1。

在本发明的一些实施例中，所述抛光液输送装置包括：输送管，所述输送管的一端形成出口；周期泵，所述周期泵与所述输送管的另一端相连，所述周期泵用于周期性地泵送抛光液。

具体地，所述上抛光头连接有第一驱动装置，所述第一驱动装置用于驱动所述上抛光头自转以及平移。

在本发明的一些实施例中，所述下抛光头连接有第二驱动装置，所述第二驱动装置用于驱动所述下抛光头自转。

根据本发明实施例的抛光设备，所述上抛光头和所述下抛光头均连接有用于真空吸附待抛光物的真空吸附装置。

根据本发明第二方面实施例的抛光设备的抛光方法，所述抛光方法包括：驱动待抛光物放置区放置有一待抛光物的上抛光头和待抛光物放置区放置有另一待抛光物的下抛光头相对移动并向两个待抛光物之间添加抛光液。

进一步地，抛光过程中上抛光头和下抛光头分别自转和相对平移，在上抛光头和下抛光头相对平移时添加抛光液，两个待抛光物的自转速度不同和/或自转方向相反。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本发明实施例的抛光设备的一个示意图。

附图标记：抛光设备100，上抛光头1，下抛光头2，待抛光物3，抛光液输送装置4，第一驱动装置5，第二驱动装置6。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。