[发明专利]滚动轴承、旋转机械元件及固体膜形成方法

权利要求书

1.一种固体膜形成方法，是在滚动轴承的至少一个轴承结构元件上形成固体膜的方法，所述滚动轴承具备内圈、外圈及设置于所述内圈与所述外圈之间的多个滚动体作为所述轴承结构元件，所述方法包括：

附着工序，使包含氟化物和不具有官能团的润滑剂的溶液作为第一液状膜附着于至少一个所述轴承结构元件，所述氟化物是将甲基丙烯酸3-(三甲氧基甲硅烷基)丙基酯、六氟丙烯及甲基丙烯酸甲酯作为成分的化合物；

成膜工序，通过使附着的所述第一液状膜固化，而在至少一个所述轴承结构元件上形成固体膜；

旋转工序，使包含形成有所述固体膜的所述轴承结构元件在内的滚动轴承旋转；

清洗工序，通过包含与在所述附着工序中使用的所述润滑剂相同的润滑剂的清洗液对所述滚动轴承进行清洗，并且使该清洗液作为第二液状膜附着于所述轴承结构元件；及

干燥工序，使附着的所述第二液状膜干燥。

2.根据权利要求1所述的固体膜形成方法，其中，

所述溶液是将所述氟化物和所述润滑剂加入溶剂而得到的溶液，

所述润滑剂由全氟聚醚构成，

所述溶剂是包含乙基九氟异丁基醚和乙基九氟丁基醚中的至少一种的醚，

所述清洗液是通过所述溶剂将所述润滑剂稀释而得到的溶液。

3.根据权利要求1或2所述的固体膜形成方法，其中，

在所述溶液中，所述氟化物的配合比例比所述润滑剂的配合比例高。

4.一种滚动轴承，具备内圈、外圈及设置于所述内圈与所述外圈之间的多个滚动体作为轴承结构元件，其中，

在至少一个所述轴承结构元件上形成有氟化物的固体膜，所述氟化物包含甲基丙烯酸3-(三甲氧基甲硅烷基)丙基酯、六氟丙烯及甲基丙烯酸甲酯作为成分，

在所述固体膜中分散地添加有不具有官能团的润滑剂，并且该固体膜的表面上的该润滑剂的占有比例比膜中的该润滑剂的占有比例高。

5.一种旋转机械元件，具备进行滚动接触的结构部件，其中，

在所述结构部件上形成有氟化物的固体膜，所述氟化物包含甲基丙烯酸3-(三甲氧基甲硅烷基)丙基酯、六氟丙烯及甲基丙烯酸甲酯作为成分，

在所述固体膜中分散地添加有不具有官能团的润滑剂，并且该固体膜的表面上的该润滑剂的占有比例比膜中的该润滑剂的占有比例高。

6.一种固体膜形成方法，所述方法是在包含进行滚动接触的结构部件在内的旋转机械元件的该结构部件上形成固体膜的方法，所述方法包括：

附着工序，使包含氟化物和不具有官能团的润滑剂的溶液作为第一液状膜附着于所述结构部件，所述氟化物是将甲基丙烯酸3-(三甲氧基甲硅烷基)丙基酯、六氟丙烯及甲基丙烯酸甲酯作为成分的化合物；

成膜工序，通过使附着的所述第一液状膜固化，而在所述结构部件上形成固体膜；

旋转工序，使包含形成有所述固体膜的所述结构部件在内的旋转机械元件进行旋转动作；

清洗工序，通过包含与在所述附着工序中使用的所述润滑剂相同的润滑剂的清洗液对所述旋转机械元件进行清洗，并且使该清洗液作为第二液状膜附着于所述结构部件；及

干燥工序，使附着的所述第二液状膜干燥。