[发明专利]一种高韧稀土磷酸盐/锆酸盐复合热障涂层及其制备方法在审
申请号: | 201710432163.0 | 申请日: | 2017-06-09 |
公开(公告)号: | CN107245687A | 公开(公告)日: | 2017-10-13 |
发明(设计)人: | 郭磊;张成龙;李明珠;王彩妹;叶福兴 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | C23C4/073 | 分类号: | C23C4/073;C23C4/08;C23C4/11;C23C4/134;C23C14/30;C23C14/08;C23C14/02;C23C14/16 |
代理公司: | 天津市北洋有限责任专利代理事务所12201 | 代理人: | 王丽 |
地址: | 300072 天*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 稀土 磷酸盐 锆酸盐 复合 热障 涂层 及其 制备 方法 | ||
1.一种高韧稀土磷酸盐/锆酸盐复合热障涂层,其特征在于:涂层自基体而上依次为粘结层、第一陶瓷层和第二陶瓷层;所述的粘结层的材料选用MCrAlX合金,其中M=Ni或Co或两者组合物,X=Y、Hf、Pt中的一种或两种组合物;第一陶瓷层的材料选用YSZ涂层;第二陶瓷层的材料选用REPO4/Ln2Zr2O7复合陶瓷材料,其中RE和Ln为La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd中任意一种稀土元素,RE和Ln的元素可相同或不同。
2.如权利要求1所述的热障涂层,其特征在于:REPO4掺杂范围为5~50mol%。
3.如权利要求1所述的热障涂层,其特征在于:粘结层厚度30~60μm,第一陶瓷层厚度80~150μm,第二陶瓷层厚度80~150μm。
4.根据权利1所述的热障涂层,其特征在于第一陶瓷层的厚度等于第二陶瓷层厚度。
5.权利要求1的一种高韧稀土磷酸盐/锆酸盐复合热障涂层制备方法,其特征在于:包括如步骤下:
第一步,基体前处理;
第二步,制备MCrAlX粘结层;
第三步,制备第一陶瓷层YSZ和第二陶瓷层REPO4/Ln2Zr2O7。
6.根据权利要求5所述制备方法;其特征在于,第三步中第一陶瓷层、第二陶瓷层采用电子束物理气相沉积法或大气等离子喷涂法。
7.根据权利要求6所述制备方法;其特征在于,第三步采用电子束物理气相沉积法制备第一陶瓷层的和第二陶瓷层,具体步骤包括
A)制备第一陶瓷层YSZ和第二陶瓷层REPO4/Ln2Zr2O7沉积靶材;
B)沉积第一陶瓷层YSZ和第二陶瓷层REPO4/Ln2Zr2O7;
将两种靶材放进电子束物理气相沉积设备的坩埚中,设置沉积第一陶瓷层YSZ的工艺参数:真空度10-4~10-3Pa,沉积过程中待沉积的样品温度900±20℃,基体转速10~15rpm,沉积速率2.5~4.0mm/min,调整高能电子束将YSZ靶材融化,靶材蒸发、沉积,形成第一陶瓷层,本发明选择的沉积时间32~38min,得到厚度80~150μm的第一陶瓷层;
设置沉积第二陶瓷层REPO4/Ln2Zr2O7的工艺参数,沉积过程中待沉积的样品温度900±20℃,基体转速10~15rpm,沉积速率2.5~4.0mm/min,调整高能电子束将REPO4/Ln2Zr2O7靶材融化,靶材蒸发、沉积,形成第一陶瓷层,本发明选择的沉积时间32~38min,得到厚度80~150μm的第二陶瓷层。
8.根据权利要求6所述制备方法其特征在于,第三步采用大气等离子法制备第一陶瓷层的和第二陶瓷层,具体步骤包括
A)制备第一陶瓷层YSZ和第二陶瓷层REPO4/Ln2Zr2O7喷涂粉末;
B)喷涂第一陶瓷层YSZ和第二陶瓷层REPO4/Ln2Zr2O7;
a)喷涂第一陶瓷层YSZ的工艺参数设定如下:电压55~70V,电流550~700A,主气体Ar流量40~60L/min,H2流量2~8L/min,送粉率20~30g/min,喷枪横向移动速率为200~300mm/s,火焰喷口与基体的距离100~120mm;
b)喷涂第二陶瓷层REPO4/Ln2Zr2O7的工艺参数设定如下:电压50~65V,电流500~650A,主气体Ar流量30~50L/min,H2流量5~15L/min,送粉率20~30g/min,喷枪横向移动速率为200~300mm/s,火焰喷口与基体的距离100~120mm。
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