[发明专利]一种锡酸镉透明导电膜、其生产工艺及太阳能电池在审
| 申请号： | 201710428907.1 | 申请日： | 2017-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN109037391A | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 周洁;吴历清;吴选之 | 申请（专利权）人： | 龙焱能源科技（杭州）有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/0224;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵青朵 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 透明导电膜 锡酸镉 生产工艺 太阳能电池 退火 制备 混合气体环境 规模化生产 磁控溅射 光学性能 退火方式 退火工艺 电学 靶材 申请 紧贴 | ||
1.一种锡酸镉透明导电膜的生产工艺，其特征在于，包括以下步骤：
a)将靶材在混合气体环境中进行磁控溅射，得到前体CTO基膜；
所述靶材为由SnO2与CdO组成的靶材，或为Sn-Cd合金靶材；
所述混合气体为氩气和氧气，其中，氧气占所述混合气体的体积分数为5％～15％；
b)将所述前体CTO基膜在保护性气氛下进行退火，得到锡酸镉透明导电膜。
2.根据权利要求1所述的生产工艺，其特征在于，所述步骤a)中，所述混合气体的气压为5～30mTorr。
3.根据权利要求1所述的生产工艺，其特征在于，所述步骤a)中，所述磁控溅射的溅射功率为460～600W。
4.根据权利要求3所述的生产工艺，其特征在于，所述步骤a)中，所述磁控溅射的溅射时间小于等于10min。
5.根据权利要求1所述的生产工艺，其特征在于，所述步骤a)中，所述由SnO2与CdO组成的靶材中，SnO2与CdO的摩尔比为1：(1.9～2.1)。
6.根据权利要求1所述的生产工艺，其特征在于，所述步骤a)中，氩气的流量为20～500sccm；氧气的流量为1～100sccm。
7.根据权利要求1所述的生产工艺，其特征在于，所述步骤b)中，所述保护性气氛为氩气气氛或氮气气氛。
8.根据权利要求1所述的生产工艺，其特征在于，所述锡酸镉透明导电膜的厚度为150～500nm。
9.权利要求1～8中任一项所述的生产工艺制得的锡酸镉透明导电膜。
10.一种太阳能电池，其特征在于，所述太阳能电池中的TCO透明导电膜为权利要求9所述的锡酸镉透明导电膜。
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