[发明专利]台阶仪及探针检测装置

权利要求书

1.一种探针检测装置，应用于台阶仪，所述台阶仪包括探头和连接于所述探头的探针，其特征在于，所述探针检测装置包括：

安装环，连接于所述探头并环绕所述探针设置；

激光发射单元，设于所述安装环的内壁，用于向预设方向发射激光；

第一激光接收单元，设于所述安装环内壁，用于接收照射在所述探针而反射的激光并据以产生电信号；

处理组件，用于根据所述电信号确定一偏差值，且在所述偏差值大于第一预定值时，控制所述台阶仪停止；

所述第一激光接收单元包括环绕所述激光发射单元设置的N个光敏元件，且N个所述光敏元件用于输出N个所述电信号；其中，N≥2；

所述处理组件用于根据N个所述电信号确定所述偏差值。

2.根据权利要求1所述的探针检测装置，其特征在于，所述处理组件包括：

模数转换器，与所述第一激光接收单元连接，用于将N个所述电信号转换为N个数字信号；

计算单元，与所述模数转换器连接，用于根据N个所述数字信号中最大的n个值与最小的n个值确定所述偏差值；其中，n≤N/2。

3.根据权利要求1所述的探针检测装置，其特征在于，所述光敏元件的数量为四个，且所述光敏元件均为方形。

4.根据权利要求3所述的探针检测装置，其特征在于，所述光敏元件为硅光电池。

5.根据权利要求1所述的探针检测装置，其特征在于，所述激光发射单元和所述第一激光接收单元集成于一激光收发器，所述处理组件用于根据所述激光收发器输出的所述电信号确定所述偏差值。

6.根据权利要求5所述的探针检测装置，其特征在于，所述处理组件包括：

模数转换器，与所述激光收发器连接，用于将所述电信号转换为数字信号；

计算单元，与所述模数转换器连接，用于根据所述数字信号与第二预定值确定所述偏差值。

7.根据权利要求1～6任一项所述的探针检测装置，其特征在于，所述探针检测装置还包括：

第二激光接收单元，设于所述安装环的内壁，并与所述激光发射单元正对设置，用于在接收到所述激光发射单元发出的激光时输出电信号；

所述处理组件用于在接收到所述第二激光接收单元发出的所述电信号时，控制所述台阶仪停止。

8.根据权利要求1所述的探针检测装置，其特征在于，所述探针检测装置还包括：

图像采集组件，可转动地设于所述探头，用于获取所述探针端部的图像；

照明组件，可转动地设于所述探头，且与所述图像采集组件分居所述安装环的两侧，用于为所述图像采集组件提供照明。

9.一种台阶仪，其特征在于，包括：

探头；

探针，连接于所述探头；以及

权利要求1～8任一项所述的探针检测装置。