[发明专利]一种ITO薄膜NO2气体传感器的制备方法在审
| 申请号： | 201710425791.6 | 申请日： | 2017-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN107091859A | 公开（公告）日： | 2017-08-25 |
| 发明（设计）人： | 李强;郑晓虹;郑慧萍;杨薇;王丹丹;杜元生;张艳艳;李喜;李鑫;沈艺波 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;C25F3/12 |
| 代理公司： | 上海蓝迪专利商标事务所(普通合伙)31215 | 代理人： | 徐筱梅,张翔 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 ito 薄膜 no2 气体 传感器 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种ITO薄膜NO2气体传感器的制备方法，其特征在于,该方法包括以下具体步骤：
步骤1：对ITO薄膜进行电化学处理
ⅰ）将负载在玻璃上的ITO薄膜分别在丙酮、乙醇、去离子水中超声清洗20min，自然晾干；
ⅱ）配置0.1M的氨水，作为电解液；
ⅲ）阴极阳极均为ITO薄膜玻璃，导电的一面相对，面间距为1cm，连接电极，插入ⅱ）中所配置的电解液中，用直流电源控制电压10-50V之间，时间为5min；
ⅳ）取下阴极ITO薄膜玻璃，去离子水冲洗表面，自然晾干；
步骤2：NO2气体传感器的制备
晾干后的阴极ITO薄膜玻璃表面用毛刷刷两个铂浆电极，两个电极之间距离1cm，并引出铂丝,用胶水固定铂丝；在80-100℃烘箱中干燥10-24h，取出玻璃片，用万用表确定铂丝与电极间连通，得到所述ITO薄膜NO2气体传感器。
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