[发明专利]缺陷检查方法及其设备

权利要求书

1.一种缺陷检查方法，所述缺陷检查方法通过相对于待拍摄对象（20）照射条纹照明（L）并且基于得自所述待拍摄对象（20）的图像来检查在所述待拍摄对象（20）上是否存在缺陷，所述缺陷检查方法包括以下步骤：

从条纹照明照射单元（14）在所述待拍摄对象（20）上照射条纹照明（L），该条纹照明照射单元（14）配置于在机器底座（12）形成的具有大体矩形横截面的通孔（30）；

用图像捕获单元（40）来拍摄用所述条纹照明（L）照射的所述待拍摄对象（20），并且得到源图像，该图像捕获单元（40）通过支撑框架设置于所述机器底座（12），并且配置在所述通孔（30）的上方；

通过第一过滤处理来得到第一过滤处理后图像，所述第一过滤处理相对于所述源图像执行最大值过滤处理和最小值过滤处理中的任一个；

通过第二过滤处理来得到第二过滤处理后图像，所述第二过滤处理相对于所述第一过滤处理后图像执行所述最小值过滤处理和所述最大值过滤处理中的剩余一个；

使用所述第二过滤处理后图像作为背景图像来得到差异图像，在所述差异图像中确定了与所述源图像的差异；

相对于所述差异图像执行二值化处理，并且得到二值化图像，以便强调在成像范围内存在的缺陷；以及

对所述二值化图像进行噪声去除处理和区域过滤标记处理，在噪声去除处理中，消除二值化图像中的线性白光区域，在区域过滤标记处理中，消除面积小于或等于预定阈值的白光区域和面积大于或等于预定阈值的白光区域，使得最终只保留了面积处于预定范围内的白光区域，

通过移位装置使所述机器底座（12）移位，由此使所述条纹照明照射单元（14）和所述图像捕获单元（40）一体地移位并进行各所述步骤。

2.根据权利要求1所述的缺陷检查方法，其中，在已执行多次所述第一过滤处理之后，执行与所述第一过滤处理相同次数的所述第二过滤处理。

3.根据权利要求2所述的缺陷检查方法，其中，分别执行两次或更多次所述第一过滤处理和所述第二过滤处理。

4.一种缺陷检查设备（10），所述缺陷检查设备适于通过相对于待拍摄对象（20）照射条纹照明（L）并且基于得自所述待拍摄对象（20）的图像来检查在所述待拍摄对象（20）上是否存在缺陷，所述缺陷检查设备包括：

条纹照明照射单元（14），所述条纹照明照射单元（14）适于用条纹照明（L）照射所述待拍摄对象（20）；

图像捕获单元（40），所述图像捕获单元（40）适于拍摄用所述条纹照明（L）照射的所述待拍摄对象（20）；

图像分析处理单元（42），所述图像分析处理单元（42）适于相对于由所述图像捕获单元（40）得到的源图像执行图像分析处理 ；以及

移位装置，所述移位装置适于将所述条纹照明照射单元（14）和所述图像捕获单元（40）移位；

其中，所述图像分析处理单元（42）：

通过相对于所述源图像执行最大值过滤处理和最小值过滤处理中的任一个来执行第一过滤处理，从而得到第一过滤处理后图像；

通过相对于所述第一过滤处理后图像执行所述最小值过滤处理和所述最大值过滤处理中的剩余一个来执行第二过滤处理，从而得到第二过滤处理后图像；

使用所述第二过滤处理后图像作为背景图像来执行求差处理，从而得到差异图像，在所述差异图像中确定了与所述源图像的差异；以及

相对于所述差异图像执行二值化处理，

对强调了存在于成像范围内的缺陷的二值化图像进行噪声去除处理和区域过滤标记处理，在噪声去除处理中，消除二值化图像中的线性白光区域，在区域过滤标记处理中，消除面积小于或等于预定阈值的白光区域和面积大于或等于预定阈值的白光区域，使得最终只保留了面积处于预定范围内的白光区域，

所述图像捕获单元（40）通过支撑框架设置于机器底座（12），配置于在机器底座（12）形成的具有大体矩形横截面的通孔（30）的上方，

所述条纹照明照射单元（14）设置于所述机器底座（12），

通过所述移位装置使所述机器底座（12）移位，由此使所述条纹照明照射单元（14）和所述图像捕获单元（40）一体地移位。